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LOGO基于氣浮支承引線鍵合定位基于氣浮支承引線鍵合定位平臺設(shè)計平臺設(shè)計 n指導(dǎo)教師：盧志偉指導(dǎo)教師：盧志偉n班級：班級：0808機械機械2 2班班n學(xué)生：學(xué)生：趙趙 魁魁n學(xué)號：學(xué)號：0810208022208102080222選題系統(tǒng)的背景及意義選題系統(tǒng)的背景及意義 隨著技術(shù)的進步和相關(guān)行業(yè)的發(fā)展，高加速度高隨著技術(shù)的進步和相關(guān)行業(yè)的發(fā)展，高加速度高精度定位平臺是引線鍵合機的核心部件精度定位平臺是引線鍵合機的核心部件,決定鍵合的決定鍵合的速度和質(zhì)量速度和質(zhì)量,進而影響芯片的成本與可靠性。隨著芯進而影響芯片的成本與可靠性。隨著芯片集成度的不斷增大片集成度的不斷增大,管腳數(shù)量迅速增多管腳數(shù)量迅速增多,引線間距引線間距日益減小日益減小,定位平臺的性能已經(jīng)成為引線鍵合工藝進定位平臺的性能已經(jīng)成為引線鍵合工藝進一步發(fā)展的瓶頸。由于空氣的粘性低，不易發(fā)生爬一步發(fā)展的瓶頸。由于空氣的粘性低，不易發(fā)生爬行，振動也小，熱穩(wěn)定性好；使用壽命是半永久性行，振動也小，熱穩(wěn)定性好；使用壽命是半永久性的的,與液體靜壓導(dǎo)軌相比，它不污染環(huán)境。與液體靜壓導(dǎo)軌相比，它不污染環(huán)境。論文的結(jié)構(gòu)和主要內(nèi)容論文的結(jié)構(gòu)和主要內(nèi)容u本論文的主要內(nèi)容是設(shè)計定位平臺的設(shè)計。定位平本論文的主要內(nèi)容是設(shè)計定位平臺的設(shè)計。定位平臺計過程可分為總體方案設(shè)計，完成原理方案設(shè)計臺計過程可分為總體方案設(shè)計，完成原理方案設(shè)計和結(jié)構(gòu)方案設(shè)計；對引線鍵合定位平臺和結(jié)構(gòu)方案設(shè)計；對引線鍵合定位平臺X X、Y Y兩運動兩運動導(dǎo)軌的相互運動方式進行設(shè)計；對引線鍵合定位平導(dǎo)軌的相互運動方式進行設(shè)計；對引線鍵合定位平臺的氣浮導(dǎo)軌進行設(shè)計；對引線鍵合定位平臺驅(qū)動臺的氣浮導(dǎo)軌進行設(shè)計；對引線鍵合定位平臺驅(qū)動裝置、傳動裝置、供氣裝置、測量等裝置進行設(shè)計。裝置、傳動裝置、供氣裝置、測量等裝置進行設(shè)計。設(shè)計分析設(shè)計分析u定位平臺機械部分方案確定定位平臺機械部分方案確定 u傳動：滾珠絲杠螺母副傳動：滾珠絲杠螺母副 支撐：雙推支撐：雙推-簡支式簡支式 滑動導(dǎo)軌滑動導(dǎo)軌 伺服電機：步進電動機伺服電機：步進電動機u 采用滾珠絲杠螺母副，可實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)運動與直線運動相互轉(zhuǎn)采用滾珠絲杠螺母副，可實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)運動與直線運動相互轉(zhuǎn)換，在具有螺旋槽的絲杠螺母中裝有滾珠作為中間傳動元件，換，在具有螺旋槽的絲杠螺母中裝有滾珠作為中間傳動元件，以減少摩擦。優(yōu)點是摩擦系數(shù)小，傳動效率高，靈敏度高，傳以減少摩擦。優(yōu)點是摩擦系數(shù)小，傳動效率高，靈敏度高，傳動平穩(wěn)，不易產(chǎn)生滑行，傳動精度和定位精度高；磨損小，使動平穩(wěn)，不易產(chǎn)生滑行，傳動精度和定位精度高；磨損小，使用壽命長，精度保持性好。雙推用壽命長，精度保持性好。雙推-簡支式支撐減少絲杠熱變形簡支式支撐減少絲杠熱變形的影響。的影響?？諝忪o壓導(dǎo)軌的方案設(shè)計空氣靜壓導(dǎo)軌的方案設(shè)計 u重力封閉式導(dǎo)軌重力封閉式導(dǎo)軌u優(yōu)點：這種形式的導(dǎo)軌用工作臺的質(zhì)量和空氣靜壓優(yōu)點：這種形式的導(dǎo)軌用工作臺的質(zhì)量和空氣靜壓保持平衡，以維護導(dǎo)軌的固定間隙。其結(jié)構(gòu)較簡單，保持平衡，以維護導(dǎo)軌的固定間隙。其結(jié)構(gòu)較簡單，零件的高精度也容易實現(xiàn)。零件的高精度也容易實現(xiàn)。u缺點：支承剛性低，故多用于載荷變化范圍不大的缺點：支承剛性低，故多用于載荷變化范圍不大的設(shè)備上。設(shè)備上。重量封閉式導(dǎo)軌重量封閉式導(dǎo)軌 u空氣靜壓導(dǎo)軌副是由氣墊和承導(dǎo)面組成的。從氣源空氣靜壓導(dǎo)軌副是由氣墊和承導(dǎo)面組成的。從氣源送來的清潔、干燥、恒壓的空氣流經(jīng)節(jié)流器進入氣送來的清潔、干燥、恒壓的空氣流經(jīng)節(jié)流器進入氣腔并沿封氣面向外流出，在封氣面上形成具有承載腔并沿封氣面向外流出，在封氣面上形成具有承載能力的氣膜。氣腔與封氣面處氣膜的承載能力之和能力的氣膜。氣腔與封氣面處氣膜的承載能力之和將氣墊及與之相連的工作臺浮起。工作中承載能力將氣墊及與之相連的工作臺浮起。工作中承載能力與載荷處于平衡狀態(tài)，氣膜厚度保持不變，從而實與載荷處于平衡狀態(tài)，氣膜厚度保持不變，從而實現(xiàn)氣體摩擦。當載荷變化時，氣膜的厚度隨載荷增現(xiàn)氣體摩擦。當載荷變化時，氣膜的厚度隨載荷增大而減小，氣膜一方面起承載作用，另一方面也起大而減小，氣膜一方面起承載作用，另一方面也起著潤滑作用。著潤滑作用?？諝忪o壓導(dǎo)軌的工作原理及特點空氣靜壓導(dǎo)軌的工作原理及特點致謝致謝 大學(xué)學(xué)習(xí)生活即將結(jié)束。在此，大學(xué)學(xué)習(xí)生活即將結(jié)束。在此，非常感謝大學(xué)四年來所非常感謝大學(xué)四年來所有的代課老師有的代課老師和我的同學(xué)和我的同學(xué)們們，他們在我成長過程中給予了我，他們在我成長過程中給予了我很大的幫助。本文能夠順利完成，要特別感謝我的導(dǎo)師很大的幫助。本文能夠順利完成，要特別感謝我的導(dǎo)師盧志盧志偉偉老師，老師，向?qū)煴硎菊\摯的感謝，并致以崇高的敬意！向?qū)煴硎菊\摯的感謝，并致以崇高的敬意！謝謝謝謝各位老師！各位老師！