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14 激光打標(biāo)機(jī)原理 第一章 激光器原理 可以肯定地說：本世紀(jì)最后的偉大發(fā)明之一是激光技術(shù)。它自一九五八年問世以來，已經(jīng)逐步地然而是堅(jiān)定地滲透到了科研、軍事、工業(yè)等各個(gè)領(lǐng)域。不是嗎？看看我們的周圍，你就可以輕易地找到它應(yīng)用的實(shí)例：醫(yī)院中的激光診斷及激光治療機(jī)、商店中的條碼識(shí)別器、辦公室中的激光打印機(jī)、把我們與世界各地聯(lián)結(jié)在一起的光纖等等，就是在我們的家中也有它的身影：激光唱機(jī)、激光影碟機(jī)。 人類發(fā)明了多種多樣的激光器。諸如：氣體激光器（He-Ne激光器、CO2激光器等）、固態(tài)晶體激光器（紅寶石激光器、釹玻璃激光器等）、離子激光器（氪離子激光器、氬離子激光器等）、染料激光器（甲酚紫激光器、螢光素激光器等）、超輻射激光器（氮分子激光器等）以及半導(dǎo)體激光器（砷化鎵半導(dǎo)體二極管等）等等。 在世界的許多地方，幾乎所有的商品激光器都在制造業(yè)中得到越來越廣泛的應(yīng)用。CO2激光器的主要用途就是各類工業(yè)激光加工設(shè)備，作為固態(tài)晶體激光器的Nd: YAG（摻釹釔鋁石榴石）激光器的最大應(yīng)用便是在激光打標(biāo)領(lǐng)域。 1.1　激光原理 我們知道，物質(zhì)是由原子組成的，而原子是由帶正電的原子核和帶負(fù)電的核外電子組成的（見圖1.1）。每一個(gè)電子都沿著自己特定的軌道繞原子核高速旋轉(zhuǎn)，其旋轉(zhuǎn)半徑?jīng)Q定于電子所處的能級(jí)。原子吸收能量后，電子的旋轉(zhuǎn)半徑會(huì)增加，電子的能級(jí)就會(huì)提高；原子釋放能量后，電子的旋轉(zhuǎn)半徑會(huì)減小，電子的能級(jí)就會(huì)降低。每個(gè)能級(jí)對(duì)應(yīng)著一個(gè)特定的能量。電子所具有的能量是不連續(xù)的，也就是說原子的能級(jí)是量子化的。原子只有吸收了兩個(gè)能級(jí)之間差值的能量才會(huì)提高一個(gè)能級(jí)，電子在能級(jí)之間的變動(dòng)現(xiàn)象稱為躍遷。同樣，當(dāng)原子躍遷到較低能級(jí)時(shí)，會(huì)釋放出兩個(gè)能級(jí)之間差值的能量。原子的最低能級(jí)為E0，高的能級(jí)依次為E1、E2、E3、……，高的能級(jí)稱為上能級(jí)，低的能級(jí)為下能級(jí)。處在能級(jí)E0的原子稱為基態(tài)原子，其它能級(jí)稱為激發(fā)態(tài)（見圖1.2）。 原子可以吸收光子來獲得能量，當(dāng)然這個(gè)光子必須具有與原子能級(jí)差相等的能量（例如：E1-E0）原子只能吸收帶有幾個(gè)能量的光子。光子的能量決定于光子本身的波長(zhǎng)。所以，原子只能吸收幾個(gè)特定波長(zhǎng)的光子。 正常情況下，原子吸收能量后會(huì)在上能級(jí)停留一段時(shí)間（這一時(shí)間被稱為原子的上能級(jí)壽命），然后向任意一個(gè)方向發(fā)射一個(gè)光子并返回基態(tài)。這一現(xiàn)象稱為原子的自發(fā)發(fā)射。對(duì)這一現(xiàn)象，圖1.3作了形象的描述。 圖1.1 原子的結(jié)構(gòu) 圖1.2 原子的能級(jí) 若在激發(fā)態(tài)原子的附近，恰巧有一個(gè)光子經(jīng)過，這個(gè)光子又恰好具有原子上下能級(jí)之差的能量，那么這個(gè)原子就有可能受到外來光子的激勵(lì)而發(fā)出一個(gè)光子，原子自身則在發(fā)射后返回基態(tài)。原子的這種因受到外來激勵(lì)而發(fā)射的情況，稱為原子的受激發(fā)射（圖1.4）。原子受激發(fā)射所放出的光子與外來的激勵(lì)光子在能量、波長(zhǎng)、相位等方面完全相同。 . . 以上是單個(gè)原子能級(jí)的變化情況。 對(duì)于大量原子的情況，在通常條件下，大多數(shù)原子總是分布在基態(tài)上，其余原子總是從低能級(jí)到高能級(jí)遞減分布。這一分布規(guī)律就是通常所說的波爾茲曼分布。在圖1.5中，縱坐標(biāo)表示原子的能級(jí)，橫坐標(biāo)表示在各能級(jí)上原子的分布數(shù)量。如果我們加熱這些原子，會(huì)使處于上能級(jí)的原子數(shù)量有所增加。但不管如何加熱這些原子，在原子群達(dá)到新的熱平衡后，上能級(jí)的原子數(shù)量總是少于下能級(jí)的原子數(shù)量。若我們想辦法強(qiáng)迫下能級(jí)的原子躍遷到上能級(jí)，而同時(shí)保證上能級(jí)的原子不很快地發(fā)射而返回到下能級(jí)，就會(huì)人為地造成粒子數(shù)反轉(zhuǎn)。這時(shí)再用激勵(lì)光子去激勵(lì)上能級(jí)原子，使其產(chǎn)生受激 圖1.5 原子在各能級(jí)上的分布 發(fā)射。在受激發(fā)射的同時(shí)，要設(shè)法使下能級(jí)的原子持續(xù)地躍遷到上能級(jí)，以維持粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，使受激發(fā)射能夠持續(xù)地進(jìn)行下去。受激發(fā)射所產(chǎn)生的光子都具有相同的波長(zhǎng)、方向及相位，所以受激發(fā)射的光是很強(qiáng)的。這就是激光。激光這個(gè)詞是從英文原文“LASER”一詞翻譯過來的，它的完整的英文原文是“Light Amplification by Stimulated Emission of Radiation” (光輻射受激發(fā)射放大)，“LASER”是它的縮寫。簡(jiǎn)單地說：激光器的實(shí)質(zhì)是一個(gè)光放大器。 在實(shí)踐中，要想產(chǎn)生激光，就必須滿足兩個(gè)條件：首先找到能夠?qū)崿F(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)的工作物質(zhì)，也就是激光介質(zhì)；第二要建立一個(gè)諧振腔，使某一個(gè)頻率的能量源（可以是諧振腔外的，也可以是諧振腔內(nèi)的）在腔內(nèi)諧振，在激光介質(zhì)中多次往返時(shí)，有足夠的機(jī)會(huì)去激勵(lì)（泵浦）處于粒子數(shù)反轉(zhuǎn)狀態(tài) 圖1.6 激光的產(chǎn)生示意圖 的激光介質(zhì)。只有這樣，才能產(chǎn)生激光。這些受激發(fā)射的光子又去激發(fā)其它原子，一個(gè)變兩個(gè)、兩個(gè)變四個(gè)、四個(gè)變八個(gè)、……，產(chǎn)生連鎖反應(yīng)，光強(qiáng)被雪崩似地放大。因而產(chǎn)生強(qiáng)烈的激光。 通常是在激光介質(zhì)的兩端各放置一個(gè)反射鏡來組成諧振腔，以形成光學(xué)反饋。它的作用是將那些沿介質(zhì)長(zhǎng)軸發(fā)射的光子反射回介質(zhì)中。兩個(gè)反射鏡中的一個(gè)被有意作成可以透過一個(gè)很小百分比的光強(qiáng)（在激光器中被稱為前鏡，相應(yīng)的另外一個(gè)反射鏡被稱為后鏡），這就是激光輸出（見圖1.6）。 1.2 激光器原理 1.2.1 Nd: YAG激光器原理 Nd: YAG激光器是固態(tài)晶體激光器的一種，它采用Nd: YAG晶體棒作激光介質(zhì)。Nd: YAG晶體是將激光介質(zhì)釹(Nd)原子摻在生晶體釔鋁石榴石(YAG)中，Nd原子在YAG中的最佳含量約為總重量的1％。所以，Nd: YAG晶體的全稱是摻釹釔鋁石榴石晶體。Nd: YAG晶體一般被制作成棒狀，這種材料的制作是很困難的，且價(jià)格昂貴。但由于它具有良好的光學(xué)性能、機(jī)械性能和熱學(xué)性能，所以是高功率激光器的最佳選材之一。 之所以采用氪燈作為激勵(lì)用的泵浦源，因?yàn)樗梢园l(fā)出波長(zhǎng)為0.73μm和0.8μm的光線，用這一波長(zhǎng)的光來激勵(lì)Nd原子是最為有效的。 將Nd: YAG晶體棒與氪燈并排放置在一個(gè)橢圓型的光學(xué)腔內(nèi)，光學(xué)腔的內(nèi)表面形狀是經(jīng)過精心設(shè)計(jì)的，以便保證氪燈發(fā)出的泵浦光能夠全部聚集到Nd: YAG晶體棒的中心軸上。由一個(gè)反射率為100％的反射鏡作后鏡，前鏡的反射率為精心設(shè)計(jì)的90％（透過率為10％），它們共同組成光學(xué)諧振腔，以實(shí)現(xiàn)光學(xué)諧振。 Nd（釹）原子的能量轉(zhuǎn)移過程分為四步(在圖1.7中對(duì)這一過程有詳細(xì) 圖1.7 Nd: YAG激光器原理圖 的描述)，第一步：Nd原子在氪燈發(fā)出的波長(zhǎng)為 0.73μm和 0.8μm泵浦光的激勵(lì)下，處于基態(tài)的Nd原子躍遷到兩個(gè)上能級(jí)中的一個(gè)，原子在這里的上能級(jí)壽命非常短，大約只有10-7 秒，這里稱這一能級(jí)為激發(fā)態(tài)；第二步：原子在激發(fā)態(tài)迅速地進(jìn)行一次無發(fā)射的躍遷，到達(dá)另一個(gè)上能級(jí)，原子在這里的上能級(jí)壽命較長(zhǎng)，大約為10-4 秒，這一能級(jí)稱為亞穩(wěn)態(tài)，原子在這里形成粒子數(shù)反轉(zhuǎn)；第三步：當(dāng)原子在這里受激而躍遷到達(dá)下能級(jí)時(shí)，就會(huì)發(fā)射出波長(zhǎng)為 1.06μm的光子，這就是激光；第四步：原子在這里再發(fā)生一次無發(fā)射的躍遷到達(dá)基態(tài)，準(zhǔn)備重復(fù)上述過程。 1.2.2 CO2激光器原理 CO2是三原子結(jié)構(gòu)的線性分子，它有三種振動(dòng)方式，如圖1.8所示。第一種叫做對(duì)稱振動(dòng)（如圖1.8a所示），其對(duì)應(yīng)的振動(dòng)能量叫做對(duì)稱振動(dòng)能量，其能級(jí)相應(yīng)地稱為對(duì)稱振動(dòng)能級(jí)。第二種叫做反對(duì)稱振動(dòng)（如圖1.8b所示），其對(duì)應(yīng)的振動(dòng)能量叫做反對(duì)稱振動(dòng)能量，其能級(jí)相應(yīng)地被稱為反對(duì)稱振動(dòng)能級(jí)。第三種叫做形變振動(dòng)，又叫彎曲振動(dòng)（如圖1.8c及c,所示），這種振動(dòng)有上下、前后兩種形式，這種振動(dòng)的能量叫做形變振動(dòng)能量，能級(jí)被稱為形變振動(dòng)能級(jí)。 圖1.8 CO2分子的振動(dòng)方式 CO2分子有幾個(gè)上能級(jí)，其中只有一個(gè)上能級(jí)在躍遷時(shí)可以產(chǎn)生波長(zhǎng)為10.6μm的激光，我們不妨把這一能級(jí)叫做激光能級(jí)（屬于反對(duì)稱振動(dòng)能級(jí)）。由于CO2分子的上能級(jí)壽命長(zhǎng)，而且CO2激光器的激光能級(jí)與基態(tài)靠得很近，從而使它有高的效率、低的激勵(lì)能量，并且很容易獲得并積聚大量的受激分子，從而得到高功率、高效率的激光器。 建立CO2激光器能級(jí)間粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，把分子激發(fā)到高能級(jí)，一般有以下幾個(gè)基本過程： ⒈電子直接激勵(lì)：放電中具有一定動(dòng)能的電子同處于基態(tài)的CO2分子碰撞，把分子從基態(tài)直接激發(fā)到激光能級(jí)。 ⒉串級(jí)躍遷：處于比激光能級(jí)更高的其它反對(duì)稱上能級(jí)也和基態(tài)能級(jí)有聯(lián)系，因此動(dòng)能較高的電子和基態(tài)的CO2分子相碰撞時(shí)，也能把分子激發(fā)到這些能級(jí)上去，在這些能級(jí)上的分子很容易躍遷到激光能級(jí)上來，這是因?yàn)樗鼈兌际欠磳?duì)稱振動(dòng)能級(jí)，而激光能級(jí)又是其中最低的一個(gè)。在較高能級(jí)的分子是不穩(wěn)定的，它們總是力圖向較低能級(jí)躍遷，因此在激光能級(jí)就會(huì)積聚大量的粒子，這就是所謂串級(jí)躍遷。 ⒊諧振碰撞：處于更高反對(duì)稱振動(dòng)能級(jí)上的分子還可以通過與基態(tài)CO2分子的碰撞，把能量交給后者使其激發(fā)到激光能級(jí)，而自己成為低一級(jí)的反對(duì)稱振動(dòng)能級(jí)分子。這一類碰撞是諧振的，發(fā)生的幾率很大，對(duì)增加激光能級(jí)的粒子數(shù)有很大的貢獻(xiàn)。 ⒋復(fù)合過程：在CO2分子放電過程中，有部分CO2分子分解為CO和O，同時(shí)也存在部分CO和O復(fù)合成CO2分子的過程，在它們復(fù)合時(shí)會(huì)把原來分解時(shí)吸收的能量放出，因此復(fù)合而成的CO2分子就會(huì)被這部分能量激發(fā)到激光能級(jí)。 以上這四種基本過程是CO2分子被激發(fā)到激光能級(jí)去的四條途徑。另外，為實(shí)現(xiàn)粒子數(shù)反轉(zhuǎn)以便產(chǎn)生受激輻射，還必須抽空下能級(jí)。 CO2激光器按激勵(lì)方式可分為橫向激勵(lì)激光器、氣動(dòng)激光器、化學(xué)激勵(lì)激光器、射頻激勵(lì)激光器，等等。  第二章 激光打標(biāo)機(jī)的種類 一般地說，激光打標(biāo)機(jī)是在計(jì)算機(jī)的控制下，使被打標(biāo)的工件與激光束產(chǎn)生受控相對(duì)運(yùn)動(dòng)，激光束就會(huì)在工件表面燒蝕出需要的符號(hào)和圖案。 顯然，產(chǎn)生這種相對(duì)運(yùn)動(dòng)可以有兩種方式：一種是激光束固定，工件運(yùn)動(dòng)；還有一種是工件固定，激光束運(yùn)動(dòng)。 對(duì)于前一種方式，一般采用兩維機(jī)械數(shù)控（或計(jì)算機(jī)控制）工作臺(tái)拖動(dòng)被打標(biāo)工件，工件在工作臺(tái)的拖動(dòng)下按照事先設(shè)計(jì)好的軌跡運(yùn)動(dòng)，在固定不動(dòng)的激光束的燒蝕作用下，工件表面就會(huì)留下永久的痕跡（見圖2.1）。這種打標(biāo)方式我們稱之為“工作臺(tái)式”。采用這種方式的打標(biāo)機(jī)最大的優(yōu)點(diǎn)是： 圖2.1 “工作臺(tái)式”激光打標(biāo)機(jī)的原理示意圖 價(jià)格相對(duì)低廉，但受機(jī)械運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)的限制打標(biāo)速度慢，很難進(jìn)行精細(xì)文字及圖案的打標(biāo)（若要實(shí)現(xiàn)精細(xì)打標(biāo)，價(jià)格低廉的優(yōu)點(diǎn)將不復(fù)存在，且非常困難），更無法對(duì)照片進(jìn)行打標(biāo)。 對(duì)于后一種方式，常用的有兩種方法： ⒈利用兩個(gè)聯(lián)動(dòng)的光學(xué)反射鏡，使激光束發(fā)生偏折。激光器射出的激光束照在第一面反射鏡上，在水平方向折射90°后照射在第二反射鏡上，第二反射鏡使激光束向下反射通過聚焦透鏡后在工件表面聚焦，該透鏡與第二反射鏡是固定在一起的。第一反射鏡沿激光器的軸線運(yùn)動(dòng)，運(yùn)動(dòng)時(shí)帶動(dòng)第二反射鏡，第二反射鏡沿反射后的激光束運(yùn)動(dòng)，這兩個(gè)運(yùn)動(dòng)受計(jì)算機(jī)控制。這兩個(gè)運(yùn)動(dòng)的合成就是事先要求的標(biāo)記圖樣的軌跡（見圖2.2）。這種打標(biāo)方式我們稱之為“繪圖儀式”，因?yàn)樗墓ぷ鞣绞筋愃朴诠P式繪圖儀。又由于在打標(biāo)過程中，兩個(gè)反射鏡帶著激光束做大范圍的運(yùn)動(dòng)，就象激光束在飛來飛去，所以又有人稱之為“飛行光學(xué)式”打標(biāo)機(jī)。與“工作臺(tái)式”激光打標(biāo)機(jī)相比，它的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)變得輕巧，構(gòu)造更加簡(jiǎn)單，但由于在打標(biāo)過程中激光光束的光程是不斷變化的，最終作用在工件表面的光斑質(zhì)量難以一致。這種形式的激光打標(biāo)機(jī)在不降低激光光斑能量密度的情況下，打標(biāo)范圍容易做得很大，但 圖2.2 “繪圖儀式”激光打標(biāo)機(jī)原理示意圖 難以對(duì)精細(xì)圖案進(jìn)行打標(biāo)，打標(biāo)速度較慢。 ⒉利用振鏡掃描器使激光束發(fā)生偏轉(zhuǎn)及運(yùn)動(dòng)。由激光器射出的激光束順序投射到第一、第二振鏡掃描器上，它們分別使激光束在平面的X、Y兩個(gè)方向上掃描，在計(jì)算機(jī)的控制下，激光束經(jīng)聚焦透鏡聚焦后就會(huì)在平面上掃描出所要求的圖案（見圖2.3）。這種打標(biāo)方式我們稱之為“振鏡掃描式”，它的最大優(yōu)點(diǎn)是打標(biāo)速度快，打標(biāo)精細(xì)，可以處理各種精細(xì)文字、圖案的打標(biāo)，缺點(diǎn)是造價(jià)較高，很難擴(kuò)大打標(biāo)視場(chǎng)。但由于它打標(biāo)速度快，打標(biāo)精細(xì)，已經(jīng)成為激光打標(biāo)機(jī)的主流產(chǎn)品。 圖2.3 “振鏡掃描式”激光打標(biāo)機(jī)工作原理示意圖 激光打標(biāo)機(jī)還可按照所選用的激光器類型來分類，諸如：CO2 激光打標(biāo)機(jī)、Nd: YAG激光打標(biāo)機(jī)等等。 YAG系列激光打標(biāo)機(jī)屬于振鏡掃描式Nd: YAG打標(biāo)機(jī)，它采用的是Nd: YAG激光器。該類打標(biāo)機(jī)一般由激光器及電源、聲光Q開關(guān)及驅(qū)動(dòng)電源、振鏡掃描器及驅(qū)動(dòng)電源、光學(xué)系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)、打標(biāo)機(jī)專用D/A轉(zhuǎn)換控制器、專用水循環(huán)制冷系統(tǒng)等組成；CO2系列激光打標(biāo)機(jī)屬于振鏡掃描式CO2打標(biāo)機(jī)，它采用的是射頻激勵(lì)CO2激光器。該類打標(biāo)機(jī)一般由激光器及電源、振鏡掃描器及驅(qū)動(dòng)電源、光學(xué)系統(tǒng)、計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)、風(fēng)冷卻或水循環(huán)系統(tǒng)等組成。  第三章 激光輸出的調(diào)制 3.1 聲光Q開關(guān) 對(duì)于采用Nd: YAG 激光器的JBJ系列激光打標(biāo)機(jī)來說，聲光Q開關(guān)是必不可少的。它是通過在光學(xué)反饋路徑上交替地開啟和阻斷光路來形成激光脈沖的一種設(shè)備?！癚”是英文“Quality”（品質(zhì)）的縮寫，它的意思是指光學(xué)諧振腔中光學(xué)反饋的品質(zhì)。在激光打標(biāo)系統(tǒng)中，聲光Q開關(guān)經(jīng)常作為附屬光學(xué)器件加到光學(xué)諧振腔內(nèi)。 聲光Q開關(guān)由對(duì)激光束透明的材料（如水晶等）制成，它的側(cè)面粘合了一個(gè)壓電聲學(xué)換能器，在該壓電聲學(xué)換能器上加有射頻信號(hào)，該射頻信號(hào)的頻率被調(diào)制為1～50kHz。 當(dāng)沒有電信號(hào)時(shí)，Nd: YAG晶體中發(fā)出的光束可以直接通過聲光Q開關(guān)，被后反射鏡反射后通過聲光Q開關(guān)又回到晶體，Q開關(guān)不起作用。當(dāng)有信號(hào)加在聲光換能器上時(shí)，換能器將產(chǎn)生聲波，聲波作用在水晶上而壓迫水晶，這將使水晶的折射率發(fā)生變化，從Nd: YAG晶體中發(fā)出的光在通過聲光Q開關(guān)時(shí)將被折射而偏離后反射鏡。由于用于受激發(fā)射的光反饋消失了，激光產(chǎn)生的過程也就中斷了（如圖3.1所示）。 圖3.1 聲光Q開關(guān)工作原理示意圖 Nd是一種十分難得的優(yōu)質(zhì)激光介質(zhì)，它的上能級(jí)壽命相對(duì)較長(zhǎng)，達(dá)到了10-4秒。當(dāng)射頻信號(hào)使Q開關(guān)破壞了光學(xué)諧振腔的諧振條件從而阻斷激光輸出時(shí)，它的內(nèi)部仍然在吸收氪燈發(fā)出的光能而形成粒子數(shù)反轉(zhuǎn)，由于較長(zhǎng)的上能級(jí)壽命，受激原子不會(huì)很快回到下能級(jí)。在沒有激光輸出期間，上能級(jí)積聚了極大的能量，當(dāng)射頻信號(hào)一旦取消而恢復(fù)光學(xué)反饋時(shí)，將會(huì)產(chǎn)生數(shù)千瓦的激光峰值功率輸出。Q開關(guān)為在功率較低的激光器上產(chǎn)生高峰值功率短脈寬的激光脈沖提供了極好的方法。 YAG系列激光打標(biāo)機(jī)采用的聲光Q開關(guān)是由熔石英制成的，采用LiNbo3單晶作壓電聲學(xué)換能器。為了提高聲光Q開關(guān)對(duì)Nd: YAG激光的透過率，在熔石英的兩個(gè)通光面表面鍍1.06μm硬增透膜。 3.2 激光脈沖控制器 對(duì)于采用射頻激勵(lì)CO2激光器的CO2系列激光打標(biāo)機(jī)來說，有沒有激光脈沖控制器似乎都可以對(duì)工件進(jìn)行打標(biāo)加工。但實(shí)踐證明，加有激光脈沖控制器的激光打標(biāo)機(jī)打標(biāo)質(zhì)量明顯提高，對(duì)材料的適應(yīng)能力也更好，更能夠滿足激光打標(biāo)加工的要求。 脈沖控制器的工作原理與聲光Q開關(guān)完全不同，它是用一組電脈沖信號(hào)直接控制激光電源，從而改變激光器的輸出波形。達(dá)到縮小激光束輸出的輻射方向以及大幅度增加激光輸出的峰值功率的目的。 它的工作原理見圖3.2。 圖3.2 激光脈沖控制器工作原理  第四章 供電及冷卻系統(tǒng) 無論是采用Nd: YAG激光器的YAG系列激光打標(biāo)機(jī)，還是采用CO2激光器的CO2系列激光打標(biāo)機(jī)，供電及冷卻系統(tǒng)都是少不了的。 Nd: YAG激光器所用的泵浦源氪燈，CO2激光器的激光管都需要一個(gè)穩(wěn)定、可靠的直流電源，電源的穩(wěn)定性直接影響激光輸出的穩(wěn)定性。Nd: YAG激光器所用的電源還必須包括一個(gè)能產(chǎn)生高壓?jiǎn)?dòng)脈沖的點(diǎn)燃電路，以引燃氪燈。 大恒激光生產(chǎn)的激光打標(biāo)機(jī)均采用IGBT開關(guān)電源，由于設(shè)計(jì)合理、制作精良，保證了電源的穩(wěn)定性和可靠性。 Nd: YAG激光器所用的泵浦源──大功率氪燈，在發(fā)光過程中會(huì)產(chǎn)生大量的熱；CO2激光器在工作時(shí)同樣會(huì)產(chǎn)生一定的熱量（雖然不如Nd: YAG激光器產(chǎn)生的熱量多）。若不及時(shí)將這些熱量去掉，不僅會(huì)影響激光器的正常使用和縮短氪燈的使用壽命，更為嚴(yán)重的是將會(huì)發(fā)生炸腔或損壞CO2激光管的惡性事故，使昂貴的Nd: YAG晶體棒及鍍金腔或CO2激光器報(bào)廢。 施加于聲光Q開關(guān)上的射頻信號(hào)，被壓電晶體吸收后，一部分能量轉(zhuǎn)變成超聲波，還有一部分變成熱；盡管Q開關(guān)中的熔石英晶體對(duì)激光是透明的，但還會(huì)吸收一部分光能，這些能量轉(zhuǎn)變?yōu)闊?。這些熱量會(huì)燒壞壓電換能器的電極，燒壞壓電換能器，甚至?xí)龎娜凼⒕w。 去除熱量的最有效的方法是加裝一套水循環(huán)裝置，靠水的循環(huán)來帶走熱量。對(duì)于Nd: YAG激光器，由于氪燈表面的溫度很高，必須考慮不使氪燈表面結(jié)垢；冷卻水直接流過氪燈表面，水必須有很高的透明度；氪燈的電極上加有高壓，水必須有較高的電阻率。所以必須采用去離子水。對(duì)于CO2激光器，冷卻水采用普通水就可以了。為了節(jié)省寶貴的水資源，冷卻水（不管是去離子水還是普通水）應(yīng)該循環(huán)使用，一般的做法是采用一套二次冷卻裝置，以帶走冷卻水所帶出的熱量，一般是采用外接普通水源的辦法。由于采用CO2激光器的激光打標(biāo)機(jī)所產(chǎn)生的熱量較小，二次冷卻多采用風(fēng)冷卻的方式。 第五章 光學(xué)系統(tǒng) 沒有光學(xué)系統(tǒng)，激光打標(biāo)機(jī)是無法正常工作的。針對(duì)激光打標(biāo)機(jī)工作方式的不同，光學(xué)系統(tǒng)也是各式各樣的，當(dāng)他們都包括擴(kuò)束鏡（使激光器發(fā)出的激光束直徑變大并縮小激光束的發(fā)散角）、光學(xué)聚焦透鏡（使作用在工件表面的激光光斑直徑盡可能變?。┖头瓷溏R（用以改變激光束的方向）。 一個(gè)70W的連續(xù)激光器所發(fā)出的光能與一個(gè)70W的普通燈泡所發(fā)出的光能是差不多的。普通燈泡是被設(shè)計(jì)為用來照明的，它發(fā)出的光線是向四面八方照射的，與燈泡不同的是激光器發(fā)出的光線集中在一個(gè)很小的范圍。所以激光的能量密度（單位面積上的能量）遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于燈泡的能量密度，實(shí)際的打標(biāo)效果決定于工件表面所承受的能量密度，而不是激光的功率。為了能夠很好地進(jìn)行激光打標(biāo)，必須進(jìn)一步提高激光的能量密度。這有兩個(gè)方法：一個(gè)是提高激光器的激光輸出功率，一般地說這是困難或得不償失的；還有一個(gè)方法是將激光器發(fā)出的激光束進(jìn)一步變細(xì)，這需要一套光學(xué)系統(tǒng)。 使激光束變細(xì)是很簡(jiǎn)單的，只需有一個(gè)聚焦透鏡將激光束聚焦到一個(gè)很小的點(diǎn)。激光器發(fā)出的激光并不是理想的平行光，它有一個(gè)很小的發(fā)散角，這一很小的發(fā)散角會(huì)影響到聚焦透鏡的聚焦效果。所以在聚焦透鏡之前要有一個(gè)擴(kuò)束鏡用以壓低光束的發(fā)散角。擴(kuò)束鏡除了可以壓低光束的發(fā)散角外，還可以擴(kuò)大激光輸出光束的直徑。我們知道，聚焦后光斑的大小取決于入射光束直徑和聚焦透鏡的焦距：入射光束直徑越大，聚焦后光斑直徑越小。入射光束直徑的增大，還可以降低激光光路中使激光光束改變方向的反射鏡上的激光能量密度，保證了反射鏡在長(zhǎng)時(shí)間工作時(shí)不被激光束燒壞。 按照聚焦透鏡在光路中相對(duì)于反射鏡所處的位置，可以分為前聚焦和后聚焦兩種方式。 下面我們以振鏡掃描式激光打標(biāo)機(jī)為例來介紹激光打標(biāo)機(jī)的光學(xué)系統(tǒng)。 5.1 前聚焦方式 圖5.1 前聚焦方式示意圖 前聚焦方式是因聚焦透鏡比反射鏡更靠近激光器（處在反射鏡的前面）而得名。聚焦透鏡安裝在擴(kuò)束鏡和振鏡掃描器之間(見圖5.1)，它的最大優(yōu)點(diǎn)是價(jià)格較為低廉、且可獲得較大的打標(biāo)范圍。 這一方式的主要缺點(diǎn)是：光斑直徑較大，這是由于前聚焦方式選用的聚焦透鏡的焦距較長(zhǎng)，而聚焦光斑的直徑與聚焦鏡的焦距成正比，這是為了容納振鏡掃描器，聚焦透鏡不得不采用較大的焦距，由此導(dǎo)致打標(biāo)的能量密度降低。另外，前聚焦方式只能選用普通聚焦透鏡，這種透鏡的焦點(diǎn)位置是鏡頭后方的一個(gè)圓弧面，而多數(shù)情況下工件表面是一個(gè)平面，當(dāng)光束由打標(biāo)區(qū)域的中心移至邊緣時(shí)，焦點(diǎn)將位于工件平面的上面，工件表面上光斑直徑和能量密度將動(dòng)態(tài)地發(fā)生變化。另外，當(dāng)反射鏡偏轉(zhuǎn)同一角度時(shí)，打標(biāo)位置分別處于視場(chǎng)中央和邊緣時(shí)，激光光斑的位置變化是不一致的。以上這些不足都將影響最終的打標(biāo)的效果。 對(duì)于采用CO2激光器的激光打標(biāo)機(jī)，由于激光波長(zhǎng)較長(zhǎng)，聚焦透鏡的焦深（當(dāng)工件平面在鏡頭焦平面前后移動(dòng)，肉眼難以辨別打標(biāo)效果差別的最大范圍）較大，為了得到較大的打標(biāo)工作范圍，多采用前聚焦方式。 5.2 后聚焦方式 顧名思義，與前聚焦方式不同的是，后聚焦方式將聚焦透鏡安裝在振鏡掃描器的后面(見圖5.2)。這就避免了前聚焦方式的缺點(diǎn)。它采用的聚焦透鏡是專門設(shè)計(jì)的F-θ平場(chǎng)透鏡，不管光束如何移動(dòng)，它的焦點(diǎn)位置始終保持在一個(gè)平面上，保證了在打標(biāo)區(qū)域內(nèi)光斑大小及能量密度的一致，并且當(dāng)反射 圖5.2 后聚焦方式示意圖 鏡偏轉(zhuǎn)單位角度時(shí)，對(duì)應(yīng)的焦平面上激光光斑的幾何位移是處處一致的。這些都保障了打標(biāo)的質(zhì)量的提高。另外，這種方式使更換聚焦透鏡變得很簡(jiǎn)單，可以根據(jù)打標(biāo)范圍的大小和具體要求隨時(shí)更換聚焦透鏡。 它的缺點(diǎn)是價(jià)格較高，打標(biāo)范圍相對(duì)較?。ǖ梢酝ㄟ^更換透鏡來增大打標(biāo)范圍）。 由于這種方式可以獲得高質(zhì)量的打標(biāo)效果，大多數(shù)采用Nd: YAG激光器的振鏡掃描式激光打標(biāo)機(jī)均采用這種聚焦方式。 14