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1、 真空鍍膜機安全管理規(guī)定 撰寫人：___________ 部 門：___________ 真空鍍膜機安全管理規(guī)定 真空鍍膜設備是電阻加熱式蒸發(fā)真空鍍膜設備。操作人員必須詳細閱讀該機說明書，了解設備結構、工作原理、操作程序并由專業(yè)人員指導培訓，熟練掌握各操作要領。經有關專業(yè)人員確認符合操作規(guī)范，方能獨立上崗操作。 一、該機開機前應先檢查電控柜的接線是否有松脫現(xiàn)象，接上電源，并檢查真空室內電極絕緣性，鎢絲接觸是否可靠，工件架轉動是否自如。聯(lián)軸器，輸入電極接觸是否良好，各密封處特別是動密封處是否良好。還需檢查擴散泵、旋片泵、羅茨泵、滑閥泵等的油量是否滿足要求。提供的電源、

2、氣源，各種機械泵轉向都應正確。注意：試驗羅茨泵轉向一定要在真空狀態(tài)下進行。 經過上述檢查，各項性能良好，才能進行抽氣試機。如果鍍膜室長期暴露大氣，還必須進行“煉氣”，就是按照操作規(guī)程，不進行鍍膜，只讓機械泵、擴散泵等連續(xù)抽氣，察看真空度上升的穩(wěn)定情況，若真空度保持穩(wěn)定，才能進行下一步操作。一般“煉氣”時間要達10小時以上。調試時主要檢查： 1.真空檢漏 2.檢查極限壓強 3.抽氣時間 二、滿足以上各項檢查后，進入操作和使用： 1.在非特殊情況下，請勿以斷拉閘(斷電)方式停機。 2. 本設備通電及運行過程中，請勿觸摸電氣控制柜內部和外部用電器件，注意安全。 3. 確認安全無誤時才能操

3、作設備。 4. 不要將設備交給非本設備操作人員操作。 5. 設備及電源控制柜必須良好接地。 6. 非專業(yè)人員請不要維修本設備。 三、工作中還必須注意以下幾點： 1.平時，整個系統(tǒng)要保持真空狀態(tài)，工作前才充入氣體，不要使真空室長期暴露在大氣中; 2.真空室鍍膜200-250次后，要清洗真空室和工作支撐架; 3.經常檢查膠封是否良好，特別是動密封圈，定期給動密封圈加上真空脂; 4.定期檢查電氣元件，清除灰塵，更換燒壞的電器元件; 5.在真空狀態(tài)下不得拆卸擴散泵和閥門; 6.羅茨泵、粗抽泵、維持泵要定期加油，換油(保持油面在油鏡中心為佳); 7.充氣閥門充氣動作失靈時，必須進行檢修; 8.鍍膜完畢時先關閉真空測量計，再關閉精抽、前置閥，待精抽閥、前置閥完全關閉后才能充入大氣，否則會燒壞電離規(guī)管，氧化擴散泵油及發(fā)生不必要的以外; 9.鍍膜機在工作過程中，不得斷水，若在工作過程中突然停電，應馬上關閉精抽閥門，減少因系統(tǒng)漏氣泵油的氧化; 10.關羅茨泵后一定要經過1分鐘后才能關粗抽泵，否則會因為羅茨泵在轉速較高時充入氣體，會損壞羅茨泵。 第 4 頁 共 4 頁