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1、,,,,,靜電防護(hù)教育訓(xùn)練,E S D,QA葉經(jīng)理,24, 各類常用靜電防護(hù)材料 1. 靜電環(huán) 由伸縮拉環(huán)，內(nèi)含1Mega 10%電阻之導(dǎo)線及接頭所構(gòu)成。 配帶靜電環(huán)時必須注意到： (a)靜電環(huán)必須與手緊密接觸， 不可鬆脫或套於衣袖上 (b)與接地之間必須保持1M 10%之電阻 (c)接頭必須固定妥當(dāng)， 當(dāng)接頭未接地妥當(dāng)時，不得碰觸材料 2.抗靜電材料(袋、管、管塞、盒等) 在材料上塗佈抗靜電液， 使材料不會產(chǎn)生靜電荷，或僅產(chǎn)生微量的靜電荷(通常在100V以下)。此類材料表面電阻要求在<1012/square以下，靜電消散時間<2sec。使用此材料應(yīng)： (a)此材料僅能防止本身產(chǎn)生靜電，而卻

2、無法防止靜電場破壞 (b)表面塗層必須考慮其有效期 (c)一般工業(yè)界會將此類產(chǎn)品製成粉紅色,ESD 訓(xùn)練教材,25,3. 靜電遮蔽材料(袋、管、管塞、盒等) 此種材料一般含有二或三層，上下(或外)層是抗張力強(qiáng)的抗靜電化學(xué)合成物質(zhì)(R<1012/square，靜電消散時間<2sec) ，中間(或內(nèi))層是一層薄薄的金屬箔(105

3、 (b)靜電消除器必須定期清理所積聚之灰塵，至少3個月內(nèi)清理一次 (c)靜電消除器必須定期檢查其離子是否平衡 (d)靜電消除器會產(chǎn)生臭氧(O3) 對人體無害(有益) ，但臭氧濃度不可超過0.1DPP M ，否則其異味會使人難以忍受,ESD 訓(xùn)練教材,26,,5. 防靜電工作桌,,1. 人體 2. 靜電環(huán) 3. 防靜電桌面 4. 儀器 5. 靜電鞋 6. 導(dǎo)電地板,ESD 訓(xùn)練教材,28, 各種靜電標(biāo)示警告 A.對ESD敏感標(biāo)示：C.對ESD敏感“+外弧去斜之標(biāo)示: 適用於告知電子零組件對ESD 用於工具或材料上已具有控制ESD 極為敏感，易遭ESD破壞。 之功效。 B.對ESD敏感+警語

4、之標(biāo)示： D.對ESD敏感標(biāo)示亦可用： 適用於防靜電包裝袋上。,,ESD 訓(xùn)練教材,29, 對ESD之要求 設(shè)備要求 1.設(shè)備機(jī)殼：AC-INPUT一律使用三插頭有接地端子電源線，設(shè)備外殼一律接地。(AI 、 RI、SMD 、加工成型機(jī)、測試儀器、錫爐等) 2.外加工治具：一律使用金屬製作，並接地處理。(含散熱片鎖附治具) 3.維修站：工作臺表面，需鋪上靜電墊，其表面阻值為105 109/SQUARE ，人員、儀器皆需確實接地 4.鉻鐵：外殼需接地處理 5.零件盒：半導(dǎo)體之零件被裝置或取出時，作業(yè)人員需配帶靜電環(huán)，零件放於導(dǎo)電容器或?qū)щ娭慵兄小０雽?dǎo)體零件嚴(yán)禁放置於塑膠容器(非靜電盒)或

5、保麗龍容器中,ESD 訓(xùn)練教材,30,搬運(yùn)要求 1.靜電盒：石墨型(黑色，永久型)規(guī)格為105109/SQUARE， 可使用期限一年以上 2.金屬盒：手插件段(HI)放置小零件之料盒，一般為不銹鋼導(dǎo)體，必須接地使用 3.籃子：防靜電盒如使用一般塑膠籃，則需加上防靜電之隔離使用 4.輸送帶：生產(chǎn)線若以輸送帶方式作業(yè)時，輸送帶及其各裝置 需確實接地 5.臺車：A/I室及生產(chǎn)線的搬運(yùn)臺車，一般必須使用導(dǎo)體材質(zhì)， 並在臺車底部加接地鍊條，鍊條必須與地面接觸 儲存要求 1.濕度：儲存空間之相對濕度需控制於50%60%的範(fàn)圍之內(nèi) 2.保存架：必須使用導(dǎo)體材質(zhì)，及具備接地設(shè)施 3.取放材料：儲存人員取放

6、材料時必須配帶靜電環(huán)並接地,ESD 訓(xùn)練教材,4.裝取容器：拆封之半導(dǎo)體需使用防靜電袋分裝，不可使用一般之塑膠袋包裝 人員要求 人員：工作人員一律配帶有線靜電環(huán)並接地，靜電環(huán)需每日點(diǎn)檢兩次， 嚴(yán)禁使用無線之靜電環(huán) ESD點(diǎn)檢 1. 點(diǎn)檢內(nèi)容： 2. 做靜電測試定時需附記當(dāng)時之溼度及溫度。,31,ESD 訓(xùn)練教材,32,3.若使用靜電防止劑，需明確記錄下次的塗佈使用時間。 4. 每日確認(rèn)作業(yè)員腕帶的接地狀況及是否有斷線。 5.保存用導(dǎo)電零件盒的外圍，需貼上任何作業(yè)員看後均可明瞭之標(biāo)籤，以標(biāo)示其內(nèi)存有不耐靜電之零件。 6. 靜電盒上需貼上能負(fù)荷靜電量及檢驗日期之標(biāo)籤。 7. 確實記錄點(diǎn)檢所得資料

7、。 【註】靜電環(huán)點(diǎn)檢方法 1. 作業(yè)員於座位上坐好後，帶上靜電環(huán)（右手操作者將靜電環(huán)戴於左手，左手操作者將靜電環(huán)戴於右手）並將靜電環(huán)接地線插頭插於接地孔中。 2. 線上領(lǐng)班攜帶靜電環(huán)檢測器至各作業(yè)員作業(yè)位置，將檢測器接地線插頭插於接地孔中。 3. 作業(yè)員自行壓下檢測開關(guān)(靜電環(huán)戴於左手者，用右手壓檢測開關(guān)；靜電環(huán)戴於右手者，用左手壓檢測開關(guān))，直到訊號顯示完成。 4-1. 檢測時“GOOD”綠色顯示燈亮表示該靜電環(huán)符合規(guī)格，可正常使用 4-2. 檢測時“HIGH”紅色顯示燈亮表示該靜電環(huán)超出規(guī)格，禁止使用 4-3.檢測時“LOW”紅色顯示燈亮表示該靜電環(huán)超出規(guī)格，禁止使用,ESD 訓(xùn)練教材,34,稽核 1. 日點(diǎn)檢 由各ESD區(qū)域自行點(diǎn)檢、記錄，IPQC人員亦隨時對相關(guān)工作場合進(jìn)行ESD之稽核 2.月稽核 由各廠Coordinator及各部門主管組成ESD稽核小組實施定期之稽核 3. 季稽核 每季併入Quarterly Process Analysis Audit Team來一併做ESD之季稽核。 記錄保存 ESD相關(guān)之紀(jì)錄必須保存一年,ESD 訓(xùn)練教材,