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1、按一下以編輯母片標(biāo)題樣式,按一下以編輯母片本文樣式,第二層,第三層,第四層,第五層,*,-CONFIDENTIAL-,CDA,系統(tǒng)管理及維護(hù),張銘,2015,內(nèi)容提要,CDA,管網(wǎng),三,.,CDA,設(shè)備組成,二,.,CDA,的特點(diǎn),一,.,一、,CDA,的特點(diǎn),CDA,的壓力，潔凈，及低露點(diǎn)特點(diǎn)滿足現(xiàn)在高精密的制程要求,CDA,：,C,ompressed,D,ry,A,ir,Air,外界空氣,CDA,Compressed,壓縮,Clean,潔凈,Dry,干燥,壓力,露點(diǎn),顆粒，油,C,lean,D,ry,A,ir,壓縮空氣品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn),國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)：,ISO-8573-1,Fab#3,壓縮干燥空氣系統(tǒng)

2、采用的是,1,級(jí)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì),壓縮空氣已成為僅次于電力的第二大動(dòng)力能源；,1,，獲取與貯存,易于獲得且易于貯存，輸送方便；,2,，安全性,沒有特殊的有害性能，能在惡劣環(huán)境下工作且危險(xiǎn)后果不會(huì)引起火災(zāi)；,3,，設(shè)計(jì)與控制,使用的氣動(dòng)元件簡(jiǎn)單，易于實(shí)現(xiàn)直線與回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，且自動(dòng)控制方便；,4,，經(jīng)濟(jì)性,元件價(jià)格合適，使用時(shí)間長(zhǎng)，維修費(fèi)用較低；,CDA,的特性：,Ambient,Compressor,空壓機(jī),Tank,氣罐,Filter,Filter,Filter,CDA,系統(tǒng)中的主要設(shè)備為空壓機(jī)，氣罐，干燥機(jī)，過(guò)濾器及相應(yīng)的管路；,CDA,系統(tǒng)流程圖：,Clean,Dry,&,Pressurized Ai

3、r,二、,CDA,設(shè)備組成,冷卻水冷卻,Dryer,干燥,機(jī),自動(dòng)排水器,1,、,空壓機(jī),將氣體增壓的設(shè)備；按工作原理可分為：,空壓機(jī),定排量式,速度式,往復(fù)式,回轉(zhuǎn)式,軸流式,徑流式,活塞機(jī),螺桿機(jī),離心機(jī),Fab#3,使用的阿特拉斯水冷式螺桿機(jī)；,螺桿壓縮機(jī)構(gòu)造：平行的一對(duì)相互嚙合的螺旋形轉(zhuǎn)子；,陽(yáng)轉(zhuǎn)子,陰轉(zhuǎn)子,3,轉(zhuǎn)子兩端的圓錐滾子推力軸承使轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)徑向定位，并承受徑向力和軸向力；,球軸承,推力軸承,1,陽(yáng)轉(zhuǎn)子作為主動(dòng)轉(zhuǎn)子，帶動(dòng)陰轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)；,2,轉(zhuǎn)子上的球軸承使轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)軸向定位，并承受壓縮機(jī)中的軸向力；,吸氣,封閉,壓縮,排氣,齒脫離嚙合位置形成齒間容積，在其內(nèi)部形成了真空，外氣在壓差作

4、用下流入其中；,轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)齒間容積達(dá)到了最大，此位置齒間容積與吸氣口斷開，吸氣過(guò)程結(jié)束。,同時(shí)陰陽(yáng)轉(zhuǎn)子的齒峰與機(jī)殼密封，齒槽內(nèi)的氣體被轉(zhuǎn)子齒和機(jī)殼包圍在一個(gè)封閉的空間中；,齒間容積由于轉(zhuǎn)子齒的嚙合而不斷減少，實(shí)現(xiàn)氣體的壓縮，氣體壓力不斷升高；,齒間容積與排氣口連通后即開始排氣，持續(xù)到齒末端的型線完全嚙合為止；,螺桿空壓機(jī)產(chǎn)氣過(guò)程：,螺桿空壓機(jī)管路流向,(,水,油,壓縮空氣,),：,壓 縮 空 氣,油,加卸載調(diào)節(jié)閥,空氣過(guò)濾器,油過(guò)濾器,高壓轉(zhuǎn)子,低壓轉(zhuǎn)子,消聲器,單向閥,壓縮空氣出口,后冷器,中冷器,油冷卻器,油泵,冷 卻 水,貯油槽,空氣進(jìn)口,水分離器,排污閥,冷卻水出,冷卻水進(jìn),100%,

5、進(jìn)氣,C,膜片轉(zhuǎn)換閥,中間壓力,2.3,bar,電磁閥,進(jìn)氣閥,加載活塞,高壓排氣閥,排氣消音器,AC 24V,0,bar,K04,空壓機(jī)加載運(yùn)行：,管網(wǎng)壓力降低到加載壓力時(shí)，電磁閥（,Y1,）得電向上運(yùn)動(dòng),;,1,中間壓力進(jìn)入閥腔（,1,）,該壓力比閥腔（,3,）的壓力高，摧動(dòng)加載活塞克服彈簧力向右運(yùn)動(dòng),;,2,在連桿上的調(diào)節(jié)閥（,TV,）隨同也打開,;,而卸荷閥（,UV,）同時(shí)關(guān)閉,;,空壓機(jī)加載運(yùn)行,;,一級(jí)壓縮,排氣消音器,高壓排氣閥,進(jìn)氣閥,加載活塞,電磁閥,10%進(jìn)氣,-0.9,bar,-0.7,bar,中間壓力,膜片轉(zhuǎn)換閥,大氣0,bar,高壓轉(zhuǎn)子出口,LP,K04,AC24V,

6、空壓機(jī)卸載運(yùn)行：,管網(wǎng)壓力達(dá)到卸載壓力時(shí)，電磁閥,(Y1),失電，在彈簧力的作用下向下運(yùn)動(dòng)，,2,連桿,(2),在彈簧力作用下返回，調(diào)節(jié)閥（,TV,）關(guān)閉,導(dǎo)致中間壓力為負(fù)值,膜片,(4),向左移動(dòng),;,同時(shí)卸荷閥（,UV,）打開,高壓轉(zhuǎn)子出口壓力通過(guò)消音器,(US),排放,;,空壓機(jī)卸載運(yùn)行,;,1,中間壓力停止向閥腔,(1),供氣,閥腔,(1),中的控制壓力氣體通過(guò)電磁閥,(Y1),和閥腔,(3),向壓縮機(jī)機(jī)頭進(jìn)口處放空。,2,、,儲(chǔ)氣,桶槽,儲(chǔ)壓，穩(wěn)壓,緩和管道內(nèi)的壓力波動(dòng)，減少空壓機(jī)的頻繁加卸載；,常,溫,空,氣,DRAIN TRAP,INLET,OUTLET,冷卻,儲(chǔ)氣桶表面積大，壓

7、縮空氣可利用其外氣散熱；,排水,氣體在桶槽內(nèi)旋轉(zhuǎn)碰撞，凝結(jié)成水滴，在桶底,積聚，通過(guò)自動(dòng)排水裝置排出；,3,、,干燥機(jī),移除壓縮空氣中的水分子,吸附式干燥機(jī)根據(jù)其再生方式：,圖例,原理,露點(diǎn)控制范圍,冷凍式,利用低溫冷媒冷卻并凝結(jié)出水份,2,吸附式,利用多孔性吸水材料來(lái)捕捉水氣,-20 -70,無(wú)熱再生,有熱再生,彭風(fēng)機(jī),加熱管,Fab#3,干燥機(jī)使用的干燥劑：,選用的是,30%,的分子篩,+,70%,的活性氧化鋁,吸附劑：利用分子間的“范得華”力,將水分子吸附其表面；,圖例,比表面積,m/g,機(jī)械強(qiáng)度,吸附量,%,硅膠,500,600,較高,5,8,氧化鋁,250,300,高,4,6,分子篩

8、,800,1000,有限,8,15,分子篩放大照,，先將桶槽,B2,進(jìn)行緩慢卸壓,;,干燥機(jī)工作步聚,再生,:,當(dāng)一個(gè)桶槽吸附時(shí)，另一桶槽就可以開始再生；,，鼓風(fēng)機(jī)經(jīng)過(guò)單向止回閥,R3,吸取環(huán)境空氣經(jīng)電加熱器將環(huán)境空氣加熱到需求的再生溫度后經(jīng)過(guò)氣動(dòng)二通閥,K6,從上而下進(jìn)入桶槽,B2;,，對(duì),B2,內(nèi)的吸附劑和吸附的水分進(jìn)行加熱，經(jīng)過(guò)氣動(dòng)二通閥,K4,后將水氣排入環(huán)境中,;,，,冷卻空氣被鼓風(fēng)機(jī)吸入后再度循環(huán)。冷卻過(guò)程是從下而上。,干燥機(jī)工作步聚,冷卻,:,再生加熱完成后，為了避免吸附劑內(nèi)的高溫對(duì)現(xiàn)場(chǎng)使用的影響,，,即進(jìn)入桶槽的冷卻；,，,冷卻采用密閉循環(huán)，避免環(huán)境空氣的影響。,，首先鼓風(fēng)機(jī)反

9、轉(zhuǎn)，冷卻空氣經(jīng)單向止回閥,R4,氣動(dòng)二通閥,K4,從下而上進(jìn)入桶槽,B2,冷卻，,，與吸附劑換熱后經(jīng)氣動(dòng)二通閥,K6,與冷卻器換熱冷卻，吸附劑的熱量最終被冷卻水帶走。,4,、,過(guò)濾濾芯,過(guò)濾器,初始?jí)翰?bar,濾徑,m,殘存油份,mg/m,作用,前置,0.08,0.01,0.01,去除壓縮空氣中的水，油,后置,0.0,4,1,0.1,去水,/,油，保護(hù)末端濾芯,末置,0.,12,0.01,0.0,0,1,去除顆粒，保證供氣質(zhì)量,Tank,氣罐,Filter,Dryer,干燥機(jī),Filter,Filter,前置,后置,末置,三、,CDA,管網(wǎng),1,Fab#3,每個(gè)樓層設(shè)置有,Tank,保證本樓

10、層壓力的穩(wěn)定,;,3,所有,CDA,管路材質(zhì)使用是,SUS 316L BA SCH 5S,不銹鋼管,;,Tank,Tank,空壓機(jī),2F,1F,計(jì)量,2,每個(gè)區(qū)域采用環(huán)網(wǎng)管路，進(jìn)一步保證至各機(jī)臺(tái)壓力的穩(wěn)定；,SUS 316L BA SCH 5S,對(duì)應(yīng),GB,的,00Cr17Ni14Mo2,SUS,日本材料標(biāo)準(zhǔn),316,美國(guó),ASTM,標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)出來(lái)的不銹鋼的牌號(hào),L,低碳,BA,處理工藝，光輝燒鈍（冷抽,+,退火）處理,SCH 5S,美國(guó),ASME B36.19,標(biāo)準(zhǔn)下對(duì)應(yīng)的管壁厚,AP,酸洗管,MP,機(jī)械研磨處理,EP,電解研磨處理,MPEP,電解復(fù)合研磨處理,素管表面,MP/BA,處理后表面

11、,EP/MPEP,處理后表面,雖可達(dá)到鏡面效果，但也有處理不平，且其表面鈍化破壞,利用表層溶解方式，平坦化表面并富鉻化，提高抗蝕性,不銹鋼表面不同處理圖：,2,、,流量計(jì),流量計(jì)種類繁多，根據(jù)不同量測(cè)方法有,浮子流量計(jì),渦輪流量計(jì),差壓式流量計(jì),容積式流量計(jì),熱式流量計(jì),超聲波流量計(jì)等；,浮子流量計(jì),渦輪流量計(jì),孔板,原理：,流速將在孔板處形成局部收縮，因而流速增加，靜壓力降低，于是在孔板前后便產(chǎn)生了壓差。流體流量愈大，產(chǎn)生的壓差愈大，這樣通過(guò)壓差來(lái)計(jì)量體積流量大小,;,優(yōu)點(diǎn)：便宜簡(jiǎn)單；,主要缺點(diǎn)：測(cè)量精度普遍偏低；范圍度窄；壓損大；,，,壓差式流量計(jì),：,原理：,流體經(jīng)擋體的阻擋，在下游產(chǎn)生兩個(gè)漩渦，一個(gè)沿順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，另一個(gè)則沿逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，且一次只有一個(gè),在擋體左右兩側(cè)交替出現(xiàn)，通過(guò)測(cè)量漩渦的頻率來(lái)確定液體的速度，從而計(jì)算流體的體積流量；,，渦街流量計(jì),優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單牢固；較高測(cè)量精度；測(cè)量范圍寬，壓損小。,缺點(diǎn)：需較長(zhǎng)直管段,原理：,流量計(jì)有兩個(gè)探頭，一個(gè)探頭測(cè)量流體的溫度,T1,，另一個(gè)探頭在氣體溫度的基礎(chǔ)上再加恒溫,T,；,由于氣體流過(guò),探頭帶走了熱量，勢(shì)必要補(bǔ)償電功率才能保持,T,的恒定，而這個(gè)補(bǔ)償?shù)碾姽β屎土鬟^(guò)的氣體質(zhì)量流量成正比關(guān)系。,熱式流量計(jì)的主要特點(diǎn)是不受溫度與壓力變動(dòng)的影響,精度高,;,，,熱式流量計(jì),Thank you,！,