裝配圖車梁加工用翻轉臺的設計,裝配,圖車梁加,工用,轉臺,設計 對振動偵查和測量的一種實用方法 ——物理原則和偵查技術 作者：John Wilson, 動態(tài)顧問, LLC 這篇論文論述振動物理、彈簧質(zhì)量系統(tǒng)的動力學，阻止、位移、速度和加速度，并且查出和測量這些物產(chǎn)傳感器的操作原理。 振動擺動由振動或作用在機構的力的變化引起振動的擺動。振動行動反向。由于我們將看到，這振蕩可能是在經(jīng)過若干時間有價值的周期連續(xù)不斷的或者可能間斷的。它可能是周期性或非周期性, 那就是說，它可能或者可能不呈現(xiàn)一規(guī)則的周期的重復。動擺的本質(zhì)取決于力量的本質(zhì)駕駛它和結構被駕駛。 運動是一個矢量，呈現(xiàn)一個方向和一個量。振動的方向通常被描述依據(jù)一些獨立的坐標系（典型地笛卡爾的或者直角的）其運動的方向被稱作坐標軸。這些坐標軸的正交座標系的原點是被任意地被定義在一些適當?shù)牡奈恢谩? 機構的多數(shù)振動的響應可以用當做單自由度彈簧質(zhì)量系統(tǒng)模型，并且許多振動傳感器使用他們的一個彈簧質(zhì)量系統(tǒng)當做轉導機構的機械部分。除外形尺寸之外，一個彈簧質(zhì)量系統(tǒng)可以用彈簧的剛度K，和質(zhì)量M，或者質(zhì)量的重量W等性能參數(shù)來阿描述。這些特征不僅決定來這機構的靜態(tài)特性（靜變位d），而且決定來它的動態(tài)特性。如果g 是重力的加速度: F = MA ???W = Mg ???K = F/d = W/d ???d = F/K = W/K = Mg/K 一個彈簧質(zhì)量系統(tǒng)的動力學 一個彈簧質(zhì)量系統(tǒng)的動力學的可以被體系的特性在自由振動及有效的振動表示。 自由振動 自由振動被那情況情形哪里那彈簧是偏斜于是釋放以及允許到自由地搖擺。例子包括一個跳板、一個跳簧跨接管，以及一個擺或搖擺偏斜以及留某事給自由地振動處理。 兩個特征特性應該注意。 第一、阻尼在那體系表示原因的那振幅的那振蕩到減少將來。 那包括市區(qū)及郊區(qū)的那阻尼、那更快的那振幅隨時間減小。（只要彈性極限不是超過），那頻率或時期的那振蕩無關原始的大小原始的偏轉的的。 那自然地發(fā)生頻率的那自由振動被呼叫那自然頻率fn: 受迫振動 受迫振動當能量是連續(xù)地被加到那彈簧質(zhì)量系統(tǒng)由申請振動的力在一些受迫振動頻率時的情形ff. 兩個二例子連續(xù)地推一個孩子上去一個搖擺和一失衡旋轉電機元件。如果提供充足的能量到克服那阻尼是，那動作就會延續(xù)長達那激勵延續(xù)之久。受迫振動可以取自勵的或外部地激發(fā)振動的形式。自激振動發(fā)生在激發(fā)力是產(chǎn)生在或上去那懸掛質(zhì)量的時候；外部地激發(fā)振動發(fā)生在激發(fā)力作用于彈簧的時候。這是那情形、例如：、當那基礎對此那彈簧附屬于是移動時。 傳導能力 當基礎正在振動，而且力整個彈簧被傳輸?shù)街兄沟馁|(zhì)量時候,質(zhì)量的動作將會是來自基礎的動作差積。 我們將會認為基礎的動作是輸入，I,, 和質(zhì)量的動作響應, R. 比率半徑/我被定義為傳輸度,Tr: Tr = R/I 共振 在力頻率好低于體系的固有頻率，RI, 和 Tr1。由于作用力的頻率接近那固有頻率，由于共振，所以傳遞率增加。共振是在機械系統(tǒng)中的量的存儲。在力頻率接近那固有頻率、能量是存儲和積聚、導致增加響應振幅。阻尼也增加由于增加響應振幅、然而，并且最后那能量為阻尼所吸收、每一周期、等于能量增加由激振力，并且平衡狀態(tài)到達。我們發(fā)現(xiàn)當fffn.時最大傳遞率發(fā)生，這個情況被稱作共振。 隔振 如果激振力頻率超過fn，R降低。當ff = 1.414 fn, R = I 或Tr = 1時，在比較高的頻率R 0.1英寸，到使他們成為現(xiàn)實的。 一束對準在一個反射面上光束在強度或者角度的的變化能被使用當做一距離指示從震源的角度之上方面。如果該探測儀器是足夠快的，變化的距離也可以被測定。最靈敏的、準確的和精密的測定距離或位移的光學裝置是激光干擾儀。利用這個儀器，一束反射激光束間雜有原來的入射光束。這由相位差形成的干涉圖樣可以測量位移下至<100 nm。NIST及其他國家一次校準機構使用激光干涉儀作為振動測試儀的一次校準在頻率直到 25 kHz。 電磁和電容傳感器。 另一個重要的無觸點的通信鏈路分析器系統(tǒng)，專用的位移傳感器是近程開關式傳感器的主要種類。這是典型地檢驗地做成機器用來測定軸內(nèi)部軸頸軸承的運動或者其他的機器元件的相對運動。感知器測量如一個函數(shù)的比較距離或接近或電磁的或在探針和目標之間偶合的電容 (靜電)。 因為這些裝置仰賴感應瓦特計或電容的效應,他們需要一個電傳導性的目標。 在大部份的情形下，他們一定被為在探針和目標之間的間隙一個特定的目標和特定的物質(zhì)特性校正。 電磁感應式接近覺傳感器經(jīng)常被叫做渦流探針，因為最流行類型之一我們渦流產(chǎn)生在這目標當做它的測量裝置。更準確地，這類傳感器利用由渦流造成的能量耗散。從探針到目標的距離越大，電磁耦合越少，渦流對量度越低，他們從探針吸收的能量也就越少。其他的電磁探測器檢測一電磁場產(chǎn)生的變形由這探針和使用那尺寸對指出從探針到目標的距離。 電容的接近感知器系統(tǒng)測量電容在探針和目標之間而且被校正將電容轉換成距離。電容受材料的介電性能的影響由距離造成的間隔里，因此在一般機床環(huán)境下校準可以受一潤滑劑或者的變化污染潤滑劑的作用。 接觸技術 各式各樣的相對運動傳感器使用直接接觸用兩個目標來測量在他們之間的相對運動或者距離。這些包括線性可變差動變壓器，電纜位置傳感器，并且線性電位計。這些全部裝置依靠機械聯(lián)動裝置和機電換能器。 震動的位移傳感器 這些裝置，隨后詳細地論述，是曾經(jīng)流行的但是現(xiàn)在是很少使用。他們傾向于是大的，重的，并且短暫的。 加速度的兩次積分法 藉由逐漸增加的有效而且減退處理的數(shù)傳信號的成本,較多的應用程序正在以更高低不平和更多用途廣泛的加速度儀作為感知器,然后整合加速度的倍向源自位移作信號。被傾向是噪聲的和錯誤的較舊模擬積分法技術,數(shù)傳處理能相當提供高性質(zhì),高精確度產(chǎn)生。 振動的速度的測量 傳感器 一些最早的 " 高頻 " 振動測量以電力學的速度被做感知器。 這些是一個合并一個磁石的地震傳動器的型態(tài)支援了通一個軟式彈簧乳濁液系統(tǒng)造形地震的 ( 彈簧質(zhì)量) 系統(tǒng)。 磁石的構件在一個含有一或較多線的多旋轉線圈的殼中被中止。 當殼在好的在彈簧質(zhì)量系統(tǒng)的自然頻率上面的頻率被振動的時候,質(zhì)量 (磁石) 與殼振動分開。因此，磁石本質(zhì)上不動，而且殼以它被附上到的結構速度，藉由線圈，移動過去它。 電的產(chǎn)量被產(chǎn)生對移動過磁場的線圈速度的比例項。 速度轉換器從 10 赫茲直至數(shù)百赫茲。 他們通常是大的和重, 和最后磨耗而且生產(chǎn)不穩(wěn)定的產(chǎn)量。 激光測振計。激光振動計或激光速度計是能夠提供高的靈敏度和精確度的相對新的儀器。 他們使用一個從一個振動表面被反映的頻率調(diào)整 ( 典型地大約 44 MHz) 的激光束。 被反映的桿被與最初的桿和都普勒移頻相較用來計算振動表面的速度。 順序和疏遠距離是具決定性的。 因為在位置，順序和距離方面的幾何學的約束，他們被限制到實驗室應用程序。 激光振動計的一個版本掃瞄橫過一個視覺的磁場激光束,在每個點測度速度。 那然后復合能被顯示如一個等高線地圖或一個彩色的顯示裝置。 振動映像能被重疊通一個電視的圖像為一個大的表面提供關于速度變更的最大量的資訊。 加速度的積分法 美國標準由于位移測量，廉價的數(shù)傳信號處理使以高低不平的，可靠的，和用途廣泛的加速度儀作為感知器而且整合他們的產(chǎn)量源自一個速度信號是實際的。 振動加速度的測量 大多數(shù)的現(xiàn)代振動測量被藉由測度加速度做。 如果速度或位移數(shù)據(jù)被需要, 加速度數(shù)據(jù)能被整合 (速度) 或雙重的整合 (位移). 一些加速度儀信號調(diào)節(jié)者為那一個目的有內(nèi)建的積分器。 加速度儀 (加速度感知器，傳感器或傳動器) 是有效的在各式各樣的尺寸，形，性能特性和價格中。五基本傳感器類型是伺服系統(tǒng)測力器；晶體測定類型或者壓電的；或者硅應變儀類型；整數(shù)的電子學壓電；和可變電容。盡管不同的電機械轉換機構,全部使用彈簧質(zhì)量系統(tǒng)的一種變化, 而且被歸類為地震的傳動器。 振動的加速度儀原理 所有的振動加速度儀使用一些變化一振動的或在一情況被一個彈簧結構中止的試驗過的質(zhì)量。當外殼被加速的時候,試驗過的質(zhì)量也被透過彈簧結構被傳輸?shù)牧铀?。然后彈簧的位移，?nèi)部的位移這情形，否則武裝力量傳輸在春天是傳感乘一電信號與加速度成比例。 加速度儀。 傳動器設計測量震動的加速度叫做加速度儀。有包括應變計的許多多樣性，倍力器力平衡， piezoresistive( 矽應變計) ，壓電的 (晶體-型態(tài)) ，易變的電容和一積分電子的壓電。 每個基本的型態(tài)有許多變更和商品名。 大多數(shù)的制造業(yè)者提供優(yōu)良的應用程序工程協(xié)助為應用程序幫助使用者選擇最好的型態(tài),但是因為這些來源的大部分只賣一或二類型,他們?nèi)菀走m當?shù)厥勾嫫娝麄兊膮f(xié)助。 對于大多數(shù)的應用程序，我的個人偏向是向和內(nèi)部的電子學的壓電加速計。 這些裝置的最初限制是溫度范圍。 雖然他們展現(xiàn)低周波滾降, 但是他們對至低頻能力感到有效。他們提供一個預制成的低阻抗的輸出端，單式電纜，和單頻信號工況，和通常有整個系統(tǒng)最低的代價。 對使用者重要的大部分是性能和環(huán)境的規(guī)格和價格。 什么在箱里是不恰當?shù)娜绻麅x器符合應用程序的需求, 但是當增加到現(xiàn)有的儀表使用術的時候確定是重要的加速度儀是與訊號調(diào)節(jié)相容。 每個類型的加速度儀需要一個不同類型的訊號調(diào)節(jié)。 加速度儀測定類型 最通用的振動變換器供休克和振動測量是： l 壓電的（聚乙烯）；高阻抗輸出端 l 整數(shù)的電子學壓電的（IEPE）；低阻抗的輸出端 l 電子學（功率）；硅應變儀傳感器 l 可變電容（貴重貨物）；低電平的，低頻的 l 伺服系統(tǒng)測力器 壓電的（聚乙烯）傳感器使用敏感元件的壓電效應對生產(chǎn)一電荷輸出端。因為一個 PE 感知器不需要為運算一個外面的能力來源,它是考慮過的自己，自動的意義產(chǎn)生。 " 彈簧 " 可察元件提供一個電子的給定數(shù)目比例的給應用應力的數(shù)量。 (piezein 是一個希臘的字組意謂壓擠)許多肉色和人造的事物,大概晶體或窯業(yè)和一些聚合物,顯示這一個特性。 這些事物有一個一般的結晶[性]的分子結構, 藉由一個凈的進氣變更的分配當緊張的。 壓電的事物也可能有一個雙偶體 (沿著一個特別的水晶方向正和負電荷的凈分離是哪一) 當不重音的時候。 在這些事物中，磁場能被來自應力或溫度的形變產(chǎn)生,引起壓電的或焦熱電的產(chǎn)量,分別地。焦熱電的產(chǎn)量可能是非常大的不必要的信號, 通常在長的時間與大多數(shù)的溫度一起關聯(lián)的期數(shù)之上發(fā)生變更 .聚合物 PE 事物有如熱擴散的他們本來被用的高焦熱電的產(chǎn)量。 有三個熱電效應, 將會在稍后被詳細地討論。 進氣是實際上不產(chǎn)生, 但是寧可剛剛移置。 (喜歡能量和動量,進氣總是被保存)。 當一個電場向前被產(chǎn)生雙偶體的方向時候, 在面上的金屬電極在傾斜的生產(chǎn)品的反對極端可動裝置電子來自一個面的移動, 經(jīng)過訊號調(diào)節(jié), 到感知器的另一邊取消被產(chǎn)生的磁場。電子的量仰賴被建立的電壓和在電極之間的電容 . 來自一個 PE 加速度儀的進氣通常單位的安培是微微庫倫 , 或 10-12個庫侖,是某事超過 6 × 106個電子。 在許多類型的 PE 事物之中選擇需要在進氣靈敏度，介質(zhì)常數(shù) ( ，藉由幾何學，決定電容) 之中的一個交易,熱的系數(shù)，最大溫度，頻率特性和穩(wěn)定性。 最好的 S/ 牛頓比率通常來自最高的壓電系數(shù)。 自然地發(fā)生壓電晶體 , 像是電氣石或石英通常讓低要價靈敏度, 有關一百分之一那那更普遍使用過的鐵電材料。 (但是這些低進氣產(chǎn)量事物典型地被用于電壓模態(tài),將會在稍后被討論)。 為一個給定的靈敏度允許較小的尺寸, 鐵電材料通常是人造的窯業(yè)在哪一結晶[性]的網(wǎng)域 (也就是, 區(qū)域在哪一雙偶體自然地被排齊) 是被人工極化的程序排齊的他們自己。 極化非常地比較高地通常在溫度發(fā)生勝于操作溫度加速網(wǎng)域的順序程序。 去極 , 或弛緩,能在較低的溫度發(fā)生, 但是以非常比較低的率, 而且也能以外放電壓和預載荷壓力發(fā)生。 去極總是造成靈敏度的暫時或長備損失。 電氣石，一個不遭受去極的自然晶體,特別地是有用的在非常高的溫度。 因為他們是自己，自動的意義產(chǎn)生,PE 傳動器不能夠用來測量穩(wěn)定狀態(tài)加速度或力, 這會把固定量的能量放入晶體 (單向擠壓) 因此在電極的一個電子的固定數(shù)目。 傳統(tǒng)的電壓測量會電子之遠流血, 如同做感知器的內(nèi)電阻。 (傳動器的高溫度或濕度會藉由減少電阻數(shù)值惡化問題)。 能量會被排出溝外，而且產(chǎn)量會衰退, 盡管固定的輸入加速度/ 力。 PE 傳動器電壓產(chǎn)量的外面測量需要對高壓線的動態(tài)行為和一前置放大器的輸入特性的特別注意。 因為高壓線電容直接地感染信號振幅,高壓線的過度運動在測量期間能引起在它的電容方面的改變而且應該被避免。 密切的注意也應該被支付到前置放大器的輸入阻抗; 這應該在 1000 M 的級上或比較高的確定充份的低周波響應。 實際上，一個電荷放大器正常地被以一個聚乙烯傳感器方式使用。 不同于一般形式上地測量電壓，一電荷將應達到一電荷變頻器。它是用一電容器當做它的反饋一個高阻抗運算放大器。它的輸出藉著傳動器或附上的高壓線的輸入電容在輸入和回電容器與進氣成比例, 而且?guī)缀醪怀C揉造作。 高丘狀焊痕角頻率被一個進氣變換器, 而不是傳動器特性的回電容器和電阻器設定。 ( 傳動器電阻變化謠傳特性而不是頻率)。 如果時間常數(shù)夠長的,錒加倍的傳動器將會為大多數(shù)的振動測量足夠。高阻抗產(chǎn)量 PE 傳動器的也許最重要限制是他們一定被 " 噪音對待的 " 高壓線用; 以別的方式，高壓線的動作能移置摩擦電進氣, 加入被進氣變換器測量的進氣。 摩擦電噪音是一個在典型的同橋電纜中被發(fā)現(xiàn)的錯誤通常來源。 大多數(shù)的 PE 傳動器極端高低不平。 每一個各種不同的形而且按規(guī)定尺寸制作有效的帶它自己的性能妥協(xié)受到的影響。 最通常類型的這一個傳動器是壓縮和剪設計。 剪設計提供來自環(huán)境的效應 , 像是熱的暫態(tài)較好的離析和基本的應變, 而且是通常更貴。橫梁測定類型設計，一個壓縮的設計新類型，由于它的較低的生產(chǎn)成本也是相當流行的。但是橫梁設計通常更脆性的和已經(jīng)限定的頻帶寬度。 整數(shù)的電子學壓電的（IEPE）。許多壓電加速表／測力傳感器包括整數(shù)的縮影混合放大器在他們的其他的優(yōu)點之中，不要必須經(jīng)消音處理的電纜。多數(shù)要求一外部恒定電流電源。兩者輸入饋電電流“與”輸出信號是一樣的雙芯電纜。低阻抗的 IEPE的輸出端設計提供弱的電纜絕緣阻力影響相對免疫，摩擦電噪音，并且寄生信號拾音器。 輸出端對體重比的IEPE是比用聚乙烯傳感器高。附加功能可以是合并到電子儀器，包括過濾器在內(nèi)，過載保護，和自我識別。較低的代價電纜和條件能被使用因為這工況要求比聚乙烯或者PR而言是較松的。IEPE 加速度儀/力傳動器的靈敏度,與 PR, 不是被供給變化重要地影響相反。 相反的，動力范圍，輸出電壓的全體可能擺動, 被偏向和順從電壓影響。當駕駛高電容載入的時候，藉由只有在目前的供給大變更會有頻率響應的問題。 內(nèi)建電子學的缺點是它通常限定對一個較狹窄的溫度范圍的傳動器。 和一個同一的傳動器比較起來沒有內(nèi)部的電子學的設計,高阻抗版本將會總是有一個較高的平均無故障時間 (MTBF) 額定。 除此之外，放大器的必然小尺寸可能預先排除一些被一個盛開的實驗室放大器, 像是能力提供久驅動高壓線的令人想要的功能。當久駕駛線或其他的電容負載的時候，限制的回轉因此是有這些傳動器 ( 一些設計相對地有高輸出阻抗) 的關心。 問題能被藉由在被制造業(yè)者指定的限度里面增加磁盤電流的數(shù)量治療。 電路因為電容由于在感知器和放大器之間的鉛很小的和好控制，所以需要不必然地是進氣變換器。 石英被用于電壓模態(tài),也就是, 藉由來源從動件，因為它的小介質(zhì)常數(shù)比較地提供每單位電荷高電壓。 電壓轉化也援助有的鐵電窯業(yè)那由于他們的頻率- 依賴的介質(zhì)常數(shù)在進氣模態(tài)的頻率響應中下垂。 電壓模態(tài)的幅度頻率響應相當平。 恒定電流激勵用串聯(lián)電阻沒有這些問題。然而，PR傳感器通常被補償假定恒壓激勵和可能不給預期完成用恒定電流。結果PR橋梁是它的最靈敏的測量的健康，并且是通常這支配的做主要角色總數(shù)不可靠傳感器的。 矽應變計 一個功率加速度記錄器當應變時，是一惠斯通電橋的電阻器合并一或多木頭支架那變化價值。因為這傳感器外表上地被以能量供給，這輸出端可以是所謂的直流耦合的適用趨于穩(wěn)態(tài)條件。關于定常加速度的數(shù)據(jù)達到一值。然而，這一橋梁變化的敏感性幾乎直接地用這輸入激勵電壓，要求一非常堅定的和靜止的激勵供給。 橋式接線的輸出端是這兩個輸出端之間的區(qū)別。微分放大器被需要的安培或,二者擇一地，來自激發(fā)的兩者鉛一定飄浮允許產(chǎn)量線之一被系接地。 差別的配置提供共模拒絕的利益;如果對手,將會被放大器的減法取消，也就是說，任何的噪音信號將在這放大器中由于減少而消除。 一條勸告的注釋按順序在這里：有著高輸出端PR傳感器，存在過一試驗趨于無需一放大器和簡單把這輸出端直接地與一示波器連接在一起。如果鏡和激發(fā)單獨地被結束，這將不作工。 示波儀時常讓單端型輸入。 (輸入的反對方面被磨) 如果激發(fā)也被將～置于地面 (與和激發(fā)相等的接地),橋的一個支架被分路，而且整個的激發(fā)電壓被放置橫過那一個橋的支架。如果你是利用交流耦合接通示波器，你可以曲解這相當?shù)匦螤睿切〉暮袜须s的，輸出端。 大多數(shù)的 PR 感知器使用二或四個活性元件。 電壓產(chǎn)量一二-武裝, 或半份-橋, 感知器是一半的那一四-臂, 或全部橋。穩(wěn)定性要求對一PR傳感器他們擁護IEPE比電源和它的工況頗緊的傳感器。低阻抗 PR 傳動器共享由 IEPE 提供的噪音免蝕態(tài)的利益, 雖然 PR 的輸出阻抗時常夠大的它不能夠駕駛大的電容負載。 美國標準是由于IEPE 外殼,結果是在產(chǎn)量上的一個低通濾波器,限制高頻響應。 一臺應變儀的敏感性來自既它的結構的彈性響應和材料抵抗力。線和厚的或薄膜電阻器有低的規(guī)因數(shù); 那是, 電阻的比率對應變的變化很小。 他們的響應被有柔性響應支配。 他們是有幾乎固定數(shù)值的電阻系數(shù)的事物有效同種范圍。 美國標準由于任何的電阻器，他們有對長度的數(shù)值比例項和反的比例到橫斷面面積。 如果一個傳統(tǒng)的事物被展,當長度增加的時候，它的寬度減少。 兩者的效應增加電阻。 泊松比定義總值一橫向尺寸是勉強的比擬這數(shù)量這經(jīng)度的尺寸是伸展。給予一個 0.3(一個通常的數(shù)值) 的泊松比, 因數(shù)會是 1.6; 電阻會變更 1.6 × 超過它是緊張的。 金屬制的應變計的一個典型規(guī)因數(shù)的是2。 這反應的應變儀用較高的儀表靈敏度被這壓力電阻效應支配，是應變抵抗性的變化。半導體材料展覽品這一個效應,像壓電性強烈地是一個水晶取向的函數(shù)。 喜歡其他的半導體性質(zhì),它也是一個雜物濃度和溫度的強函數(shù)。規(guī)因數(shù)靠近 100 對矽規(guī)是通常的,和,當和小的尺寸和各向異性地蝕刻的矽集中應力幾何學結合的時候，硅PR傳感器的效率是非常令人印象深刻的。 小型化允許一些 PR 的自然頻率 >1 MHz 震動加速度儀。 最現(xiàn)代的PR傳感器是用單個碎片硅制造的。一般說來，造型整體傳感器的優(yōu)點從一個單一的材料塊是更好的穩(wěn)定性，較少熱量的失配在部分之間，并且較高的可靠性。欠阻尼的 PR 加速度儀容易不比 PE 裝置高低不平。 單一晶體矽能有特別的降伏強度,特別地以高的應變率，但是它是然而一個脆的事物。 矽的內(nèi)磨擦非常低，因此，諧振擴大可能是比較高的超過對于 PE 傳動器。 兩者的這些功能成為它的比較易脆性的因素, 雖然如果適當?shù)卦O計而且安裝他們被規(guī)律性用測量震動很好上述的 100,000 g 。他們通常有較寬的頻帶寬度勝于 PE 傳動器 (比較相似實物大小范圍的模型), 連同較小的非線性，零的移位和磁滯特性。 因為他們有直流電反應，他們在將要產(chǎn)生長期計量時才使用。 在 PR 加速度儀的一個典型獨石矽可察元件中,1 毫米角尺矽芯片合并整個的彈簧，質(zhì)量和四個臂的 PR 應變計橋總成。 感知器經(jīng)由各向異性的浸蝕和顯微機械加工技術是利用一個單一晶體矽做成的。 應變計被本來平的矽一個雜物的圖案造形。 溝流的后來浸蝕釋放規(guī)并且同時地定義如只是最初厚度的矽區(qū)域的質(zhì)量。 橋路可以由放置并聯(lián)補償電阻或者級數(shù)用任何這木頭支架平衡了，做相配的或者這阻抗值及價值的變化用溫度的修正。補償是一種藝術; 因為 PR 傳動器能有非線性特性, 用激發(fā)來自它被制作或校正的條件差積操作它是不受勸告的。 舉例來說， PR 靈敏度只有大約成比例激發(fā), 通常是一個固定的電壓或, 在一些外殼, 定流中有一些性能利益。因為熱的性能將會大體上和激發(fā)電壓的變化,在靈敏度和激發(fā)之間沒有一個精密的比例。 另外的預防在處理電壓驅動的橋方面, 特別地有低的電阻那些, 是確認橋拿適當?shù)募ぐl(fā)。 輸入熔斷絲的級數(shù)電阻擔任一個分壓器。注意這輸入導線有低電阻，或者那一六線的大小是制成的（用讀出線在這橋梁趨于允許這激勵被校準）所以這橋梁獲得這特有的激勵。 恒定電流激勵工作沒有這些用串聯(lián)電阻的問題。然而， PR 傳動器通常被補整傲慢的固定電壓激發(fā)并且不可能用定流給被需要的性能。 PR 橋的平衡是它的健康最敏感衡量, 而且通常是傳動器的總不確定度的占優(yōu)勢的功能。 平衡,有時叫做了偏向, 零偏位 , 或 ZMO( 零可測量產(chǎn)量,和 0 g 的產(chǎn)量),能被通常是熱的特性或在內(nèi)部或外面地誘導了感知器的應變變化的一些效應改變。傳動器外殼設計嘗試隔離來自外面的應變 , 像是熱的暫態(tài)，基本的應變或固定轉矩的感知器。 內(nèi)部的應變變化,舉例來說，環(huán)氧基樹脂蠕升,容易成為長期的不穩(wěn)定的因素。所有的這些比較對于錒加倍的裝置因為他們在直流者加倍傳動器的較寬頻帶中更時常發(fā)生，通常低周波效應對直流傳動器是更重要的。 一些PR設計，尤其是高靈敏度傳感器，是設計有阻尼延長頻帶和過量程的能力。。 阻尼系數(shù)0.7 是考慮過的理想。 如此的設計時常使用油或一些其他的粘滯液體。 二個特性聽寫技術是有用的只有在相對地低周波: 阻尼軍隊成比例流過速度,而且適當?shù)牧髁克俣缺唤逵捎么蟮奈灰票昧黧w達到。 這是在那敏感的傳動器的一個快樂的巧合他們在低的加速度頻率操作位移足夠大哪里。粘滯阻尼可以有效地除去共振放大率，延長過量程的能力，并且比加倍有效帶寬。然而，因為緩沖液的粘性是一溫度的強函數(shù)，傳感器的有用的溫度范圍實質(zhì)上是受限制的。 可變電容 VC傳感器是通常平行板空隙電容器其中的設計運動垂直于電鍍層。在一些設計中屏從一個邊緣被把～建成懸臂式，因此，動作實際上是轉動; 其他的屏在圓周的周圍被支援, 當做在一個彈網(wǎng)中。 由于加速度的在 VC 元件的電容方面的改變被一對目前檢波器感覺皈依者進入電壓產(chǎn)量之內(nèi)的變化。許多VC傳感器是微電機一致地在一間隔一點點微米厚的趨于允許空氣減震中間插進的腐蝕劑硅片。事實是空氣粘度變化由只有一點百分比在一寬的工作溫度范圍提供一頻率響應比是可完成的用油阻尼PR設計更堅固的上方。 在一VC加速度記錄器中，一個高頻振蕩器給VC元件提供必要的激勵。電容變化被這檢流器檢測。輸出電壓與電容變化成正比因此，趨于加速度。這結合的超程停留在這間隔可以提高高低不平的在這靈敏的方向，雖然阻力趨于過量程的在橫向必須信任單獨地靠這懸浮的力量，按現(xiàn)狀對全部的其他的傳感器設計沒有超程停止來說是正確的。一些設計可以繼續(xù)存在極其大加速度過量程的工況是 1000倍的測量范圍。 一臺典型微電機VC加速度記錄器的傳感器是由三硅元件膠合到一起形成的密封的裝配。元件中的二個是空氣介質(zhì)，平行板積蓄器的電極。 中央的元件用化學被蝕刻造形被薄又易曲手指中止的一個硬的中央質(zhì)量。 阻尼特性被位于質(zhì)量之上的孔氣體流量控制。 VC傳感器可以提供好傳感器的特色測定類型論述初期的中許多：大的過量程的，直流電響應，低阻抗的輸出端，和單純的外部信號工況。缺點是成本并且以那在板子上調(diào)節(jié)的增加錯綜度按規(guī)定尺寸制作關聯(lián)。 同時, 高頻電容檢波電路被用，而且一些高頻載波通常在產(chǎn)量信號上出現(xiàn)。它是通常連達到（即，1000倍）比輸出信號的頻率高三數(shù)量級也不被注意到。 伺服系統(tǒng)（力平衡） 雖然伺服加速度計是主要地使用在慣性制導系統(tǒng)，但是一些他們的工作特性必然使他們在一定的振動應用中是合乎需要的。所有的在先前被描述的加速度儀類型是開環(huán)裝置在哪一產(chǎn)量由于可察元件的撓曲被直接地讀。在倍力器中-控制, 或閉合回路，加速度儀, 撓曲信號被用當一個身體上地驅動或再平衡返回平衡位的質(zhì)量電路的反饋。 倍力器加速度儀制造業(yè)者建議仰賴位移 (也就是,晶體和 piezoresistive 元件的繃皮操作) 時常生產(chǎn)一個產(chǎn)量信號的開環(huán)儀器引起非線性錯誤。在閉合回路中設計,內(nèi)部的位移被試驗過的質(zhì)量電再平衡保持極端小,將非線性減到最少。 除此之外，閉合回路設計被說有較高的精確度勝于開環(huán)打字。 然而，期間精確度的定義改變。以傳感器制造商校核。伺服加速度計可以使兩個基本幾何結構的其中任何一個：線的（例如，擴音器）和擺動的（儀表的測量機構）。 振動的幾何結構是商業(yè)的設計中應用最廣泛的。直到最近，伺服機構是主要地以電磁原則為基礎。力通常被藉由在一個磁場之前經(jīng)過在質(zhì)量上的線圈駕駛電流提供。 在和一個電磁的再平衡機構的下垂倍力器加速度儀中，下垂的質(zhì)量發(fā)展對試驗過的質(zhì)量和那應用的加速度的產(chǎn)品轉矩比例項。 質(zhì)量的動作被位感知器 ( 典型地電容的感知器) 發(fā)現(xiàn), 送一個誤差訊號給伺服系統(tǒng)。 誤差訊號引起對產(chǎn)量的倍力器放大器對轉矩電動機的一個反饋電流,發(fā)展相等在量中到來自下垂的質(zhì)量加速度產(chǎn)生的轉矩一個反對轉矩。輸出端是激勵電流它本身（或者交叉一輸出端電阻器）作用的，與偏轉環(huán)傳感器相似，跟外加力成比例因此趨于加速度。 和開環(huán)傳感器的高低不平的彈簧元件相反，再平衡壓入回路加速度記錄器的箱體中主要地有關電的并且只有當有動力提供時存在。當能實行的和大多數(shù)的阻尼被提供透過電子學的時候，彈簧在敏感的方向中是如易壞的。不像獨自地仰賴可察元件 (s) 的特性其他的直流- 響應加速度儀，它是閉合回路設計的反饋電子學控制使存偏見穩(wěn)定性。因此伺服加速度計傾向于提供較少零點飄移，是我們在振動測量中使用他們的主要的理由。一般說來，他們有一個<1000赫茲的有效帶寬的并且被設計成以比較地低加速度級并且極低頻元件方式使用在應用。 A Practical Approach to Vibration Detection and Measurement ——Physical Principles and Detection Techniques By: John Wilson, the Dynamic Consultant, LLC This tutorial addresses the physics of vibration; dynamics of a spring mass system; damping; displacement, velocity, and acceleration; and the operating principles of the sensors that detect and measure these properties. Vibration is oscillatory motion resulting from the application of oscillatory or varying forces to a structure. Oscillatory motion reverses direction. As we shall see, the oscillation may be continuous during some time period of interest or it may be intermittent. It may be periodic or nonperiodic, i.e., it may or may not exhibit a regular period of repetition. The nature of the oscillation depends on the nature of the force driving it and on the structure being driven. Motion is a vector quantity, exhibiting a direction as well as a magnitude. The direction of vibration is usually described in terms of some arbitrary coordinate system (typically Cartesian or orthogonal) whose directions are called axes. The origin for the orthogonal coordinate system of axes is arbitrarily defined at some convenient location. Most vibratory responses of structures can be modeled as single-degree-of-freedom spring mass systems, and many vibration sensors use a spring mass system as the mechanical part of their transduction mechanism. In addition to physical dimensions, a spring mass system can be characterized by the stiffness of the spring, K, and the mass, M, or weight, W, of the mass. These characteristics determine not only the static behavior (static deflection, d) of the structure, but also its dynamic characteristics. If g is the acceleration of gravity: ???F = MA ???W = Mg ???K = F/d = W/d ???d = F/K = W/K = Mg/K Dynamics of a Spring Mass System The dynamics of a spring mass system can be expressed by the system's behavior in free vibration and/or in forced vibration. Free Vibration. Free vibration is the case where the spring is deflected and then released and allowed to vibrate freely. Examples include a diving board, a bungee jumper, and a pendulum or swing deflected and left to freely oscillate. Two characteristic behaviors should be noted. First, damping in the system causes the amplitude of the oscillations to decrease over time. The greater the damping, the faster the amplitude decreases. Second, the frequency or period of the oscillation is independent of the magnitude of the original deflection (as long as elastic limits are not exceeded). The naturally occurring frequency of the free oscillations is called the natural frequency, fn: ??? (1) ?? Forced Vibration. Forced vibration is the case when energy is continuously added to the spring mass system by applying oscillatory force at some forcing frequency, ff. Two examples are continuously pushing a child on a swing and an unbalanced rotating machine element. If enough energy to overcome the damping is applid, the motion will continue as long as the excitation continues. Forced vibration may take the form of self-excited or externally excited vibration. Self-excited vibration occurs when the excitation force is generated in or on the suspended mass; externally excited vibration occurs when the excitation force is applied to the spring. This is the case, for example, when the foundation to which the spring is attached is moving. ?? Transmissibility. When the foundation is oscillating, and force is transmitted through the spring to the suspended mass, the motion of the mass will be different from the motion of the foundation. We will call the motion of the foundation the input, I, and the motion of the mass the response, R. The ratio R/I is defined as the transmissibility, Tr: ???Tr = R/I ?? Resonance. At forcing frequencies well below the system's natural frequency, RI, and Tr1. As the forcing frequency approaches the natural frequency, transmissibility increases due to resonance. Resonance is the storage of energy in the mechanical system. At forcing frequencies near the natural frequency, energy is stored and builds up, resulting in increasing response amplitude. Damping also increases with increasing response amplitude, however, and eventually the energy absorbed by damping, per cycle, equals the energy added by the exciting force, and equilibrium is reached. We find the peak transmissibility occurring when fffn. This condition is called resonance. Isolation. If the forcing frequency is increased above fn, R decreases. When ff = 1.414 fn, R = I and Tr = 1; at higher frequencies R

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