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CT廠進(jìn)氣過濾方式分析報告 單位 Y60報告人 葉日恆 報告內(nèi)容 一 問題點二 理念政策三 期望四 差異分析及改善措施提出4 1進(jìn)氣各種處理方式的評估4 2活性碳過濾處理的設(shè)計原則4 3CT廠活性碳過濾現(xiàn)況設(shè)計說明表4 4目前CM CT之現(xiàn)況檢討與費用預(yù)估 1 1問題現(xiàn)象 1 目前大園廠生產(chǎn)的過程中 置放的holdingtime在4小時內(nèi)即發(fā)生盲孔孔底發(fā)黑或發(fā)藍(lán) 造成盲孔浮離的現(xiàn)象 2 空氣過濾處理之效率及需求無法量化 1 2經(jīng)過分析的問題點 1 初步判定外氣含有化學(xué)污染物質(zhì) 如下表 如何維持板子置放時間在8小時而無品質(zhì)異常 一 問題點 根據(jù)以上量測值懷疑空氣中的化學(xué)污染物質(zhì)即為造成板子盲孔孔底發(fā)黑或發(fā)藍(lán)的現(xiàn)象 若參考waferfabcleanroomairqualitycriteria TotalHydrocarbons THC 100ppb NOX 0 5ppb SOX 0 5ppb來作為過濾基準(zhǔn) 則必須有97 5 的去除效率 空氣處理成本將相當(dāng)可觀 假設(shè)IC載板不需如此高的情況下 去除效率應(yīng)為多少才能符合我們的生產(chǎn)環(huán)境條件 2 配合CT廠現(xiàn)場品質(zhì)異常而緊急改善所採用的過濾方式 目前一時無法量化及制定出更換週期 二 理念政策 廠內(nèi)的空氣品質(zhì)需合乎作業(yè)製程品質(zhì) 人員健康的需求 三 期望 未來是什麼 3 1藉由比較各種過濾方式及設(shè)計 取得最適宜的方法來改善空氣品質(zhì) 使板子在8小時之holdingtime內(nèi)仍不致發(fā)生盲孔孔底有發(fā)黑 發(fā)藍(lán)的情形 3 2藉由長期 3個月 來觀察 以懸掛之測試裸銅片 stationmonitor 之氧化程度來取代過濾效率的量化指標(biāo) 四 差異分析及改善措施提出 Gap並對濾材選用的knowledge仍嫌不足 c 改善措施提出 Solution c 1進(jìn)氣各種處理方式的評估及活性碳過濾處理的設(shè)計原則 c 2過濾效果評估實驗計劃 保養(yǎng)頻率及標(biāo)準(zhǔn)化制定 4 1進(jìn)氣各種處理方式的評估 4 2 4 4目前CM CT之現(xiàn)況檢討與費用預(yù)估 9 8 A10無塵室進(jìn)氣顆粒狀活性碳過濾安裝位置 目前作法 9 在進(jìn)氣空調(diào)箱之前 風(fēng)速 0 3 0 5m s壓損 0 5inAq 安裝位置 目前作法 10 8 9 框 8 8 作法二 在進(jìn)氣空調(diào)箱內(nèi)部的活性碳過濾 安裝在濾袋之前 兩道活性碳濾網(wǎng) 厚度各為1in v p 7 7 8 7 進(jìn)氣空調(diào)箱說明圖 含有AirWasher 7