1、MEMS加速度傳感器學(xué)院：理學(xué)院專業(yè)：物理電子學(xué)某某：學(xué)號：目錄MEMS加速度傳感器1 簡介31什么是加速度傳感器 32 什么是MEMS加速度傳感器 3MEMS加速度計的應(yīng)用領(lǐng)域 4MEMS加速度傳感器的工作原理 4MEMS加速度傳感器的現(xiàn)。

2、傳感器技術(shù) 加速度傳感器,MEMS,目錄,Group 3,篇前語,MEMS是什么？加速度傳感器與MEMS什么關(guān)系？ 微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng) 微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結(jié)構(gòu)、微電源微能源、信號處理和控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。,Group 3,概述,加速度傳。

3、LOGO傳感器技術(shù) 加速度傳感器MEMS LOGO 目錄簡述加速度傳感器1電阻式加速度傳感器2電容式加速度傳感器3 其他類型加速度傳感器4 Group 3 LOGO 篇前語vMEMS是什么加速度傳感器與MEMS什么關(guān)系微機電系統(tǒng)MEMS, 。

4、第 10卷 第 17期 2010年 6月 1671218152010 1724293203科學(xué)技術(shù)與工程Science Technol ogy and EngineeringVol 110 No 117 June20102010 Sci 1。

5、微系統(tǒng)設(shè)計與應(yīng)用加速度傳感器的原理與構(gòu)造班 級：2012機自實驗班指導(dǎo)教師：xxx小組成員：xxxxx大學(xué)機械工程學(xué)院二OO五年十一月摘 要隨著硅微機械加工技術(shù)MEMS的迅猛發(fā)展,各種基于MEMS技術(shù)的器件也應(yīng)運而生,目前已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用的。