1、微納加工技術(shù) 孟祥坤 1306化工過程機(jī)械 2013年 10月 28日 微鑷子 微鏡陣列 微馬達(dá) 微繼電器 微鉸鏈 微納加工技術(shù)概述 微納米加工技術(shù)是指加工形成的部件或結(jié)構(gòu)本身的尺寸在 微米或納米量級，正是微納米加工技術(shù)的發(fā)展促進(jìn)了集成 電路的發(fā)展 , 導(dǎo)致集成電路的集成度以每 18 個月翻一番的 速度提高 . 微納加工技術(shù)往往牽涉材料的原子級尺度。 納米技術(shù)是。

2、先進(jìn)制造技術(shù)2.3 微納加工技術(shù)主講人0 8 0 2 1 1 0 3 2 4 谷風(fēng)康0 8 0 2 1 1 0 3 2 5 龍佳 2 0 1 2 年1 2 月2 7 日 微 鑷 子 微 鏡 陣 列微 馬 達(dá) 微 繼 電 器 微 鉸 鏈 2.。

3、先進(jìn)制造技術(shù)2.3 微納加工技術(shù),主講人 0802110324 谷風(fēng)康 0802110325 龍佳 2012年12月27日,微鑷子,微鏡陣列,微馬達(dá),微繼電器,微鉸鏈,2.3.1 微納加工技術(shù)概述,前面我們有講到精密和超精密加工,主要指表面。