擴(kuò)散爐智能控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)【獨(dú)家畢業(yè)課程設(shè)計(jì)帶任務(wù)書+開題報(bào)告+外文翻譯】,擴(kuò)散,分散,散布,智能,控制系統(tǒng),設(shè)計(jì),獨(dú)家,畢業(yè),課程設(shè)計(jì),任務(wù)書,開題,報(bào)告,講演,呈文,外文,翻譯 - 1 - 1．畢業(yè)設(shè)計(jì)的主要內(nèi)容、重點(diǎn)和難點(diǎn)等 主要內(nèi)容 ： 以 核心 ,設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)對(duì)擴(kuò)散爐溫度和工藝過程的檢測(cè)與控制。擴(kuò)散爐有上、中、下3 區(qū)爐絲加熱和壓力控制加壓 ,3 區(qū)溫度分別由相應(yīng)位置上的熱電偶測(cè)出 ,壓力由壓力傳感器測(cè)量 ,該控制系統(tǒng)主要功能就是實(shí)現(xiàn)對(duì)溫度的控制 ,并使其按照設(shè)定工藝曲線自動(dòng)運(yùn)行。同時(shí)提供友好的人機(jī)界面 ,實(shí)時(shí)顯示溫度、壓力值和報(bào)警信息 ,方便工藝設(shè)定、系統(tǒng)調(diào)試等操作 設(shè)計(jì)重點(diǎn)： （ 1）對(duì)擴(kuò)散爐中的多個(gè)工位的溫度測(cè)點(diǎn)分別進(jìn)行檢測(cè)、顯示、控制； （ 2）溫度控制精度在全量程范圍內(nèi) ,檢測(cè)分辨率≤± 0. 2 ℃ ,控制精度≤± 1 ℃； （ 3）儲(chǔ)存多條溫度工藝曲線，可由 1～ 20 段直線組成 ,每段直線可設(shè)定時(shí)間 :1～ 9 999 （ 4）具有斷電參數(shù)保護(hù)功能； （ 5） 具有較強(qiáng)的抗干擾能力并可適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)的工作要求； （ 6） 控制方式為自適應(yīng)控制方式； （ 7） 工作方式為自動(dòng)、手動(dòng)。 設(shè)計(jì)難點(diǎn)： （ 1） 使用應(yīng)用 模擬量檢測(cè)與控制能力以實(shí)現(xiàn)對(duì)被控過程的溫度監(jiān)測(cè)和控制； （ 2） 如何設(shè)計(jì)模擬硬件電路使其比較精確的進(jìn)行溫度采集； （ 3） 使用何種算法滿足精度要求； （ 4） 如何設(shè)計(jì)觸摸屏操作界面使其進(jìn)行友好互動(dòng)。 - 2 - 2．準(zhǔn)備情況（ 查閱過的文獻(xiàn)資料及調(diào)研情況、現(xiàn)有設(shè)備、實(shí)驗(yàn)條件等） 研究概況及發(fā)展趨勢(shì)： 進(jìn)入 21 世紀(jì)，電子信息產(chǎn)業(yè)的持續(xù)高速發(fā)展激勵(lì)和帶動(dòng)了集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，這就為微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供了空前廣闊的發(fā)展空間，也為半導(dǎo)體專用設(shè)備提供了巨大的市場(chǎng)潛力。 擴(kuò)散爐用于大規(guī)模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件和光導(dǎo)纖維等行業(yè)的擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝。其主要用途是在高溫條件下對(duì)半導(dǎo)體晶圓進(jìn)行摻雜，即將元素磷、硼擴(kuò)散入硅片，從而改變和控制半導(dǎo)體內(nèi)雜質(zhì)的類型、濃度和分布，以便建立起不同的電特性區(qū)域。雖然某些工藝可以使用 離子注入的方法進(jìn)行摻雜，但是熱擴(kuò)散仍是最主要、最普遍的摻雜方法。硅的熱氧化作用是使硅片表面在高溫下與氧化劑發(fā)生反應(yīng)，生長(zhǎng)一層二氧化硅膜。氧化方法有干氧氧化和水汽氧化（含氫氧合成）兩種，擴(kuò)散爐是用這兩種氧化方法制備氧化層的必備設(shè)備。擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體集成電路工藝的基礎(chǔ)設(shè)備，它與半導(dǎo)體工藝互相依存、互相促進(jìn)、共同發(fā)展。 查閱過的文獻(xiàn)資料： [1] 王衛(wèi)兵編著 . 統(tǒng)通信、擴(kuò)展與網(wǎng)絡(luò)互連技術(shù) [M]械工業(yè)出版社， 2005 [2] 滕福生編著 M]川大學(xué)出版 社，2004 [3] 熊信銀，張步涵主編 M]中科技大學(xué)出版社， 2003 [4] 胡文金 M]慶大學(xué)出版社， 2003 [5] 劉玉英主編 C++[M]民郵電出版社， 2006 [6] 中國電子學(xué)會(huì) 001 傳感器與執(zhí)行器大全 2001 [7] 羅鈺玲主編 M]民郵電出版社， 2005 [8] 文峰，陳青 中國電力出版社， 2008 [9] 韓富春編著 化技術(shù) [M]國水利水電出版社， 2003 [10] 向曉漢等 級(jí)應(yīng)用實(shí)例精講 [M]械工業(yè)出版社， 2010 [11] 組態(tài)王 北京亞控， 2006 實(shí)驗(yàn)、測(cè)試需要用到的現(xiàn)有設(shè)備： 計(jì)算機(jī)一臺(tái)、 塊、 S 型鉑銠熱電偶 傳感器 - 3 - 3、實(shí)施方案、進(jìn)度實(shí)施計(jì)劃及預(yù)期提交的畢業(yè)設(shè)計(jì)資料 基于 擴(kuò)散爐控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)主要由系統(tǒng)整體結(jié)構(gòu)、以及硬件和軟件部分的詳細(xì)設(shè)計(jì)組成。該系統(tǒng)的硬件系統(tǒng)主要由信號(hào)采集與預(yù)處理系統(tǒng)、開關(guān)量輸入 /輸出電路組成；開發(fā)擴(kuò)散 爐智能控制系統(tǒng)的人機(jī)界面，分為監(jiān)控程序和保護(hù)功能程序兩大類，分別實(shí)現(xiàn)調(diào)試與整定、自檢與監(jiān)控、各種保護(hù)功能以及顯示、等其他功能。 進(jìn)度安排計(jì)劃如下： 2015 2016受《畢業(yè)設(shè)計(jì) (論文 )任務(wù)書》，查閱相關(guān)的文獻(xiàn)資料，篩選并整理符合要求的材料加以學(xué)習(xí)，撰寫《畢業(yè)設(shè)計(jì) (論文 )開題報(bào)告》； 2016 2016續(xù)搜集涉及的資料，設(shè)計(jì)出所選課題的總體方案，包括系統(tǒng)的硬件和軟件部分，編寫摘要和引言部分；并完成專業(yè)相關(guān)外文翻譯一篇； 2016 2016據(jù)提出的總體方案，撰寫擴(kuò)散爐智能控制系統(tǒng)的總體方案、基本原理、整體結(jié)構(gòu)等內(nèi)容； 2016 2016成硬件部分的框架和大部分內(nèi)容； 2016 2016成硬件部分的余下內(nèi)容，制作硬件模擬電路； 2016 2016成軟件部分的框架設(shè)計(jì)和基本框架程序編寫； 2016 2016成軟件部分余下內(nèi)容，編寫相應(yīng)保護(hù)模塊程序； 2016 2016硬件測(cè)試，根據(jù)測(cè)試仿真結(jié)果調(diào)試硬件和軟件； 2016 2016習(xí)并編寫人機(jī)界面，進(jìn)行硬軟件的整合和仿真； 2016 2016寫設(shè)計(jì)（論文 )總結(jié)，形成論文初稿，交指導(dǎo)教師審閱，對(duì)設(shè)計(jì)作品和論文進(jìn)行修改和整理，準(zhǔn)備參加小組驗(yàn)收和答辯。 預(yù)期提交的畢業(yè)設(shè)計(jì)資料： 1、二萬字左右的畢業(yè)設(shè)計(jì)說明書（論文）；在畢業(yè)設(shè)計(jì)說明書（論文）中包括詳細(xì)的 300單詞的英文摘要； 2、與課題相關(guān)，不少于四萬字符的指定英文資料翻譯（ 附英文原文）一篇； 3、畢業(yè)設(shè)計(jì)說明書（論文）中包括詳細(xì)的整定計(jì)算分析和系統(tǒng)方案設(shè)計(jì)、原理圖、程序框圖和電路圖。 4、模擬硬件電路。 5、監(jiān)控調(diào)試運(yùn)行軟件。 - 4 - 指導(dǎo)教師意見 指導(dǎo)教師（簽字）： 2015 年 12 月 28 日 開題小組意見 開題小組組長(zhǎng)（簽字）： 2016 年 月 日 院（系、部）意見 主管院長(zhǎng)（系、部主任）簽字： 2016 年 月 日