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附錄  附錄一  英文材料   a in in  is so of is of To of of   is is in is to 62:1 is an of in a   a b c d n of of  of  of  of   he in to in it is to a of on a a an of 1]. is so to 2 et [2] to a or a to by  be is to [3] to a 00, be of by 4] is in is of a of a [5]. to it is in by 5]in to a of of be at of of it to 7]et [7] an 2:1. of a 2,985,984:1 at of at is in It be to of of of in of An of to is to or  of at as 1]. of is  000,  is 1]). of is of a, b, c, d, of is An is a, by to d, is as an if in b, at at in in to b, c, d, is so a 3K 1]. he of  of an 4].  is be by is of  is a 5 is  , 1]). in is is to  c,  a,  c, is in to is to is so 2]. of is to a is to to is to of on at to of is is to  is on of  to so is to  is of in he is as of of a 10:1 an of in be to  of a of of or of be of of P (). ,   is of a, b, c, d in a of ], 2, 29, 69, 2 62:1 2). et [7] a 12:1 is of of et [7] to be in an of an of is of of a is .  of 162n, 7], 12n, as a of  n. is in so of in a of is of 500 m2 in a he by an in an of of to is be 62:1 in be in be of is 7]. a a of to be of  is to be by he r. ui to . K., A., “53- 60 (1991). 2. K., T., M., Y., “ 4., 3, 2861999). 3. H., K., N., N., “a  31702000). 4. “ (2000) 5. T. W., J. J., M. S., S., J. J., “, 999 (1999). 6. J. J., S. L., G. F., M. S., P. J., “by  178(1996). 7. M. S., S. S., S., G. F., “ of 4561998). . of  . A of . of as a of of 中文翻譯           采用表面微加工技術(shù)制造微型行星齒輪減速器  摘要  這篇文章論述了一種結(jié)構(gòu)緊湊、傳動(dòng)比高的微型行星齒輪減速機(jī)構(gòu)。這種機(jī)構(gòu)的加工方法采用桑迪亞國家實(shí)驗(yàn)室研發(fā)的過度平面的多極微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)去除整體結(jié)構(gòu)的冗余部分，而且這種設(shè)計(jì)原理已經(jīng)得到承認(rèn)。為了充分利用表面微加工技術(shù)，我們?cè)谠O(shè)計(jì)加工這種行星減速齒輪時(shí)，需要使用安裝在芯片上的微電機(jī)。我們將計(jì)算這種齒輪預(yù)期的減速比，并 把它與傳統(tǒng)的鏈傳動(dòng)和齒輪傳動(dòng)相比較。在這篇論文中演示的微行星輪占用較少的空間，消耗較少的材料，減速比卻有望達(dá)到 162： 1。這比以前的論文中設(shè)計(jì)的減速器的傳動(dòng)比要高的多，簡直是一個(gè)神話。  關(guān)鍵字：微機(jī)電   行星齒輪   減速器    表面微加工    過度平面的多極微機(jī)電系統(tǒng)的加工（簡稱為 ）  術(shù)語：  定）  轉(zhuǎn)）  ? 介紹  在微機(jī) 電系統(tǒng)中的齒輪結(jié)構(gòu)通常希望用來在微小的體積內(nèi)產(chǎn)生較大的扭矩。但是沒有較大重量的減速器，往往是很難達(dá)到這樣的目的。研究發(fā)現(xiàn)擁有微行星齒輪的減速機(jī)構(gòu)能夠在狹小的空間內(nèi)增加扭矩，這好像有點(diǎn)自相矛盾。這是因?yàn)槲⑿行驱X輪系統(tǒng)能在每單位體積內(nèi)產(chǎn)生更大的傳動(dòng)比。然而它的結(jié)構(gòu)是如此的復(fù)雜，以至于我們很少嘗試將齒輪系統(tǒng)微型化。 及他的小組成員曾經(jīng)用類似的行星齒輪結(jié)構(gòu)來驅(qū)動(dòng)一個(gè)機(jī)器人，并使它在  直徑為一寸的鋼管里前后移動(dòng)。他們利用一個(gè)馬達(dá)來驅(qū)動(dòng)高傳動(dòng)比的齒輪機(jī)構(gòu)，通過微電線的放電加工技術(shù)能夠?qū)崿F(xiàn)這種齒輪機(jī)構(gòu)的精 確加工。但是這些部件應(yīng)該在裝配驅(qū)動(dòng)馬達(dá)之前安裝在齒輪箱上。 人也用這種技術(shù)制造了微行星齒輪。他們建議用特殊的含陶合金和高碳鋼作為最佳選擇材料。當(dāng)這種齒輪系統(tǒng)的傳動(dòng)比達(dá)到 200的時(shí)候，才可以安裝馬達(dá)并使之驅(qū)動(dòng)。為了實(shí)現(xiàn)用芯片的方法來實(shí)現(xiàn)行星齒輪的驅(qū)動(dòng)，在研究中我們采用 方法來加工微行星齒輪。 過程是唯一可以實(shí)現(xiàn) 對(duì)于總數(shù)為五層 (其中一層為地平面 )的硅中釋放四層的鑄造過程由于這個(gè)原因，它經(jīng)常被用來通過安裝在芯片上的電子執(zhí)行器來驅(qū)動(dòng)復(fù)雜的齒輪機(jī)構(gòu)。然而 , 在許多情形 ,微 電機(jī)不可能提供充足的轉(zhuǎn)力矩來驅(qū)動(dòng)機(jī)械負(fù)荷 ,因?yàn)樗鼈兊撵o電梳的典型驅(qū)動(dòng)只產(chǎn)生幾十微牛頓的力。幸運(yùn)的是 ,這些引擎能容易地達(dá)到每分鐘幾萬轉(zhuǎn)的速度。這就使將轉(zhuǎn)矩轉(zhuǎn)化為速度變成是可行的。羅杰等人設(shè)計(jì)了二個(gè)傳動(dòng)比為 12： 1的雙重的水平齒輪。如此六個(gè)這樣的模組的傳輸集合在以占據(jù)極大的空間為代價(jià)的前提下可以達(dá)到 2,985,984:1的傳動(dòng)比。為了達(dá)到結(jié)構(gòu)緊湊，同時(shí)達(dá)到高傳動(dòng)比的目的少比 , 行星齒輪系統(tǒng)將被作為研究對(duì)象。根據(jù)作者的認(rèn)識(shí)，它將會(huì)是第一個(gè)使用表面微加工原理設(shè)計(jì)的行星齒輪結(jié)構(gòu)。我們還將闡述行星齒輪的操作規(guī)則，加工過 程和希望達(dá)到的行星齒輪系統(tǒng)的性能。  操作原則  使用齒輪傳輸轉(zhuǎn)矩的其它可行的方法是將一個(gè)或者多個(gè)的齒輪 ,也就是 , 行星齒輪 ,在另一個(gè)齒輪的外面旋轉(zhuǎn) ,也就是太陽輪。按照傳統(tǒng)的尺寸設(shè)計(jì)的行星齒輪減速器是使整體結(jié)構(gòu)緊湊的常用的傳輸系統(tǒng)。圖 1是上述的行星齒輪的示意圖。自從用 以來 ,圖（ 1）可以通過軟件自動(dòng)產(chǎn)生 (附 [1])。一個(gè)完整的行星齒輪系統(tǒng)是由六個(gè)齒輪組成的 : 一個(gè)太陽齒輪  a，三 個(gè)行星齒輪  b，一個(gè)固定的內(nèi)齒圈  c,一個(gè)旋轉(zhuǎn)的內(nèi)齒圈  d,和一個(gè)輸出齒輪  e。除了行星齒輪之外 ,每個(gè)齒輪的齒數(shù)都不相同。  太陽齒輪  與微引擎連接的機(jī)械手驅(qū)動(dòng)。內(nèi)齒圈  d,被視為輸出齒輪。舉例來說 ,如果機(jī)械手驅(qū)動(dòng)太陽輪按照順時(shí)針方向方向旋轉(zhuǎn) , 那么行星輪  b, 將繞著它們自己的軸按照逆時(shí)針方向宣戰(zhàn)，同時(shí)也將繞著太陽輪按照順時(shí)針方向的方向旋轉(zhuǎn)，這樣就形成了行星運(yùn)動(dòng)。  由于多個(gè)行星齒輪 以旋轉(zhuǎn)的內(nèi)齒圈 也被叫做 3 加工過程和結(jié)構(gòu) 測(cè)試  程序的特征體現(xiàn)了硅層結(jié)構(gòu)、電解聚乙烯 , 以及傳統(tǒng)的集成電路處理等技術(shù)水平的四個(gè)層次。 技術(shù)尤其適應(yīng)于齒輪機(jī)構(gòu)。行星齒輪機(jī)構(gòu)由芯片上的微引擎驅(qū)動(dòng)，而且這也是采用 技術(shù)的另一個(gè)理由。  因?yàn)樯５蟻喅绦蚴且豢畋娝苤某绦? ,所以我們只簡要的作些解釋。圖 2是圖  1的截面視圖 ,也是由 1]設(shè)計(jì)產(chǎn)生的，其中截面中的不連續(xù)的部分是為了鉆孔而設(shè)置的。聚乙烯 1(灰色 )用來制造輪轂以及固定的內(nèi)齒圈c,太陽齒輪 a,旋轉(zhuǎn)的內(nèi)齒圈  c,而輸出齒輪是由聚乙烯 2制造 的。圖  設(shè)計(jì)軟件產(chǎn)生的行星齒輪機(jī)構(gòu)的視圖  附錄  [2]是描述測(cè)試結(jié)構(gòu)的圖形。因?yàn)檫@篇文章的主旨是介紹一種齒輪減速機(jī)構(gòu) ,所以我們將整個(gè)行星齒輪系統(tǒng)分解成各個(gè)組成部分，以檢測(cè)它的性能。第一個(gè)測(cè)試結(jié)構(gòu)是驅(qū)動(dòng)太陽齒輪的機(jī)械手 ,如前述，這個(gè)機(jī)械手是由芯片上的引擎驅(qū)動(dòng)的，所以機(jī)械手的角速度是由引擎的輸出速度決定的。  第二個(gè)測(cè)試結(jié)構(gòu)描述的是太陽輪和行星輪與固定的內(nèi)齒圈嚙合的點(diǎn)。因?yàn)槭聦?shí)上內(nèi)齒圈是固定的 , 所以行星輪將太陽輪輸入的轉(zhuǎn)矩傳到固定的內(nèi)齒圈，因此這個(gè)過程并沒有經(jīng)過行星運(yùn)動(dòng)。也就是說，行星輪 只繞它自己的軸轉(zhuǎn)動(dòng)，而沒有繞太陽輪轉(zhuǎn)動(dòng)。第三個(gè)測(cè)試結(jié)構(gòu)是旋轉(zhuǎn)的內(nèi)齒圈，它安裝在固定的內(nèi)齒圈的頂端上，行星輪開始繞太陽輪旋轉(zhuǎn)，這樣就可以實(shí)現(xiàn)行星傳動(dòng)。因此 ,一但輸出齒輪被安裝到旋轉(zhuǎn)的內(nèi)齒圈，也就是最后一個(gè)測(cè)試結(jié)構(gòu)，整個(gè)減速系統(tǒng)完成。將行星齒輪成拆解成三個(gè)測(cè)試結(jié)構(gòu)的過程中允許齒輪系統(tǒng)存在極微小的誤差。  解決程序和預(yù)期的表現(xiàn)  傳動(dòng)比被定義為驅(qū)動(dòng)輪和被驅(qū)動(dòng)輪之間的角速度之比。高傳動(dòng)比意味著將速度轉(zhuǎn)化為轉(zhuǎn)矩。舉例來說 , 一個(gè)傳動(dòng)比為 10:1的齒輪可以按照一定的數(shù)量級(jí)增加轉(zhuǎn)矩。因?yàn)樾行禽喯档凝X輪要保證相互之間嚙合，除了 行星齒輪，所以齒輪模數(shù)的設(shè)計(jì)應(yīng)該遵從一定得限制。舉例來說，太陽輪的齒數(shù)加上固定的或者旋轉(zhuǎn)的內(nèi)齒圈的齒數(shù)應(yīng)該等于行星輪齒數(shù)的整數(shù)倍星，  P(可以為 1)。 果 P=2,應(yīng)該首先觀察 P=1的情況  。  N 是對(duì)應(yīng)齒輪的齒數(shù)。   N s c ( 1 ) (2) 行星輪系的齒輪 a、 b、 c、  這是可以與現(xiàn)在的齒輪減速器相比較的模數(shù)，而齒數(shù)分別是 12,29,69,和 72。因此根據(jù)等式（ 2）可知，輪系的傳動(dòng)比為 162:1。根據(jù)羅杰等人的報(bào)告，他們?cè)O(shè)計(jì)出傳動(dòng)比為 12:1的減速器，但是要比行星輪系減速器的傳動(dòng)比小一個(gè)數(shù)量級(jí)。雖然羅杰等人設(shè)計(jì)的減速器尺寸大約達(dá)到   2  但是本文的行星齒輪減速器設(shè)計(jì)大約可以達(dá)到 2 因此 , 行星齒輪減速器設(shè)計(jì)的傳動(dòng)比能夠達(dá)成更高的數(shù)量級(jí)，同時(shí)占用更少的空間。因?yàn)闇p速器是由數(shù)個(gè)部分組成，所以圖 3充分顯示了使用行星齒輪系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)。  圖 3利用數(shù)字的功能來顯示本文提議的行星齒輪機(jī) 制，也就是  與桑迪亞齒輪系統(tǒng)，也就是 之間的比較?？v坐標(biāo)以較大的比例單位作圖來顯示兩者之間的區(qū)別是很顯然的。  舉例來說 , 在一個(gè)由 5個(gè)部分構(gòu)成的組件中，兩組之間的區(qū)別大約達(dá)到 610 。此外 ,在這個(gè)由五個(gè)部分組成的減速器因?yàn)椴捎昧诵行禽喯?，面積減少了 8500   。  結(jié)論和討論  我們首先討論了利用表面微加工技術(shù)制造的行星齒輪減速系統(tǒng)，它是由 芯片上的引擎驅(qū)動(dòng)的。這種減速器系統(tǒng)在傳動(dòng)比方面比早先設(shè)計(jì)減速器提高了一個(gè)數(shù)量級(jí)。然而 ,由于表面的摩擦和反作用力在齒輪制造加工過程中是不可避免的。11??所以在實(shí)際情形中，減速器的傳動(dòng)比可能比  162:1 要小。即使在實(shí)際情形中一些可能的損失被考慮 ,減速器的傳動(dòng)比還是應(yīng)該比以前的設(shè)計(jì)提高一個(gè)數(shù)量級(jí)，而占據(jù)的空間會(huì)小很多。作者在設(shè)計(jì)過程中學(xué)習(xí)了許多關(guān)與微表面加工有關(guān)的知識(shí)，而且發(fā)現(xiàn)許多設(shè)計(jì)需要再研究和改正。當(dāng)畫這些設(shè)計(jì)得截面視圖時(shí)，這些知識(shí)已經(jīng)變得很熟悉了。因?yàn)槲覀兝昧嘶?的先進(jìn)的設(shè)計(jì)工具軟件包并確定 了設(shè)計(jì)規(guī)則 ,行星齒輪的設(shè)計(jì)為制造加工做好了準(zhǔn)備。我們希望這種行星齒輪減速器能夠被研究人員繼續(xù)更新、完善。